Smettete di permettere che le lampade difettose distruggano i vostri wafer
Quando si utilizzano le lampade per la cura dei wafer a carico elevato, un guasto della lampada rappresenta un vero incubo. Non si tratta soltanto di una pausa momentanea nel funzionamento della macchina: se il tubo di quarzo si rompe, i frammenti di vetro e i residui di halogeno finiscono direttamente sui wafer. Ciò significa che i wafer diventano inutilizzabili. Lotti costosi, distrutti in un attimo.
Abbiamo trovato un modo per evitare che ciò accada: creando una barriera fisica e un rivestimento ad alta riflettività all’interno dell’unità della lampada stessa.
Come funziona il riflettore
Utilizziamo materiali come l’alluminio rivestito d’oro o alluminio ad altissima purezza per riflettere l’energia infrarossa esattamente dove è necessaria: sulla superficie dei wafer.
Ma c’è di più: non si tratta soltanto di efficienza. Poiché riusciamo a concentrare il calore in modo efficace, possiamo utilizzare lampade con una potenza inferiore, mantenendo comunque le temperature necessarie per la cura dei wafer. Meno stress termico sul tubo di quarzo significa che questi non devono affrontare continue sollecitazioni durante ogni ciclo di funzionamento, riducendo così il rischio di rotture.
Limitare i danni causati dai detriti
Il riflettore funge da “scudo di sicurezza”. La lampada è inserita in un involucro precisiamente progettato, che funge da contenitore per i detriti prodotti in caso di guasto. In questo modo, i detriti non possono raggiungere i wafer.
Utilizziamo anche quarzo di alta qualità, con estremità rinforzate, per resistere alle continue variazioni di dimensione causate dal calore. Un consiglio: controllate sempre l’alimentazione elettrica. La maggior parte dei guasti avviene a causa di sbalzi di tensione; quindi mantenete la tensione stabile.
Gli svantaggi
Niente è perfetto. L’aggiunta di uno scudo e di un riflettore rende l’unità di riscaldamento leggermente più ingombrante. Inoltre, aumenta anche la massa termica, quindi ci vuole più tempo per raggiungere la temperatura desiderata. Probabilmente dovrete regolare i tempi di avvio in base a questo fattore.
Abbiamo progettato queste unità per linee di produzione che funzionano 24/7, dove la contaminazione rappresenta un problema grave. Se volete sostituire queste unità in impianti vecchi, assicuratevi che gli spazi disponibili siano sufficienti. Altrimenti, l’aria non potrà circolare correttamente, causando surriscaldamento alle estremità delle lampade… proprio ciò che vogliamo evitare.