Memanfaatkan Kekuatan Pemanas di Truk Pengangkut Wafer Secara Optimal
Jika Anda pernah bekerja di ruang bersih untuk pengolahan semikonduktor, Anda pasti tahu betapa sulitnya hal tersebut. Anda perlu memanaskan wafer yang berada di truk pengangkutnya, tetapi mengarahkan energi panas ke tempat yang tepat ternyata tidak semudah kelihatannya.
Sebagian besar waktu, energi panas tersebut malah “menghilang” entah ke mana. Energi tersebut justru memanaskan bagian casing atau udara di sekitarnya, bukan wafernya sendiri. Hal ini merupakan pemborosan energi dan tentu saja merepotkan bagi sistem yang digunakan.
Rahasianya adalah emas.
Kami menggunakan reflektor yang dilapisi emas, karena emas sangat efektif dalam memantulkan radiasi inframerah. Sebanyak 98% dari energi panas tersebut dipantulkan kembali. Dengan demikian, energi panas tersebut tidak tersebar ke mana-mana, melainkan terfokus pada titik tertentu.
Yang terbaik adalah Anda bisa mendapatkan lebih banyak panas pada wafer, tanpa perlu meningkatkan daya pemanas. Hal ini sangat membantu dalam mencapai suhu yang diinginkan. Selain itu, hal ini juga membantu menjaga suhu komponen-komponen lainnya tetap stabil. Jika Anda menggunakan daya pemanas yang tinggi tanpa reflektor yang baik, maka komponen-komponen di sekitarnya bisa rusak. Kami juga telah menghabiskan banyak waktu untuk menyesuaikan geometri reflektor tersebut, agar panasnya merata, tanpa adanya titik panas yang menyebabkan wafer memuai secara tidak merata.
Pengaturannya cukup sederhana. Reflektor tersebut dirancang agar dapat diletakkan langsung ke sistem truk pengangkut wafer yang sudah ada. Kami memastikan titik fokusnya tepat, sehingga panasnya benar-benar mengenai wafer di tempat yang tepat.
Namun, ada satu peringatan penting.
Emas membutuhkan perawatan khusus. Jika permukaan reflektor tersebut kotor akibat minyak atau bahan kimia, maka distribusi panasnya akan terganggu. Awalnya perubahan tersebut mungkin tidak begitu terasa, tetapi lama-kelamaan suhu pada wafer akan tidak merata.
Anda mungkin ingin meningkatkan daya pemanas untuk mengatasi masalah ini. Jangan lakukan itu. Itu hanya akan merusak elemen pemanas tersebut. Pastikan reflektor tersebut tetap bersih, maka sistem akan bekerja dengan baik.