Di permukaan litografi, perubahan suhu sekecil setengah derajat saja sudah cukup untuk mengacaukan dimensi-dimensi kritis dari wafer tersebut, sehingga merugikan proses produksi secara keseluruhan. Anda tidak membutuhkan panas yang “terlalu tinggi”. Yang diperlukan adalah panas yang sesuai dengan spesifikasi yang ditentukan, agar suhu tetap konstan dari satu siklus produksi ke siklus produksi berikutnya.
Apa yang telah kami buat, dan mengapa hal ini penting
Kami menyediakan pengering inframerah berukuran kompak ini, yang dilengkapi dengan emitter gelombang sedang dan sistem pemanas berbasis kuarsa. Dengan demikian, suhu di seluruh permukaan wafer dapat dipertahankan pada kisaran ±0,1°C. Sistem kontrol tertutup memastikan bahwa suhu tetap konstan, sehingga proses pemanasan tetap berada dalam batas yang ditentukan.
Pengering ini juga cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan memiliki emisi gas yang rendah, dan aliran udara yang terkontrol membuat pembentukan partikel menjadi nol. Dengan kata lain, pengering ini tidak menimbulkan cacat pada wafer, melainkan memberikan hasil pemanasan yang konsisten.
Mengapa pengering ini cocok digunakan dalam proses manufaktur IC
Dalam proses manufaktur IC, pengering ini sangat cocok digunakan karena mampu mencapai titik suhu yang ditentukan dengan cepat. Proses pemanasan dapat dilakukan dengan akurasi yang tinggi, dan suhu tetap konstan sepanjang proses produksi. Hal ini berdampak pada kontrol diameter wafer yang lebih baik, pengurangan jumlah produk yang perlu diperbaiki, serta hasil produksi yang lebih stabil.
Karena pengering ini bereaksi cepat dan hanya memanaskan bagian yang memang perlu dipanaskan, penggunaan energinya pun berkurang. Selain itu, ukurannya yang kecil memungkinkannya digunakan di ruang produksi yang sempit tanpa mengganggu ruang yang ada.
Apa yang diperlukan agar pengering ini berfungsi dengan baik
Proses integrasinya cukup sederhana, tetapi diperlukan sirkuit daya khusus serta udara bertekanan yang bersih dan kering agar sistem pendinginan berfungsi dengan baik. Lakukan penyetelan awal agar pengering dapat berfungsi sesuai spesifikasi yang diinginkan.
Setelah disetel dengan benar, pengering ini dapat beroperasi 24/7, dengan kalibrasi rutin, sehingga memberikan hasil pemanasan yang konsisten setiap kali digunakan.