सेमीकंडक्टर वेफरों को सुखाने का बेहतर तरीका
चलिए, धोने की प्रक्रिया के बाद वेफरों को सुखाने एवं उन्हें तैयार करने संबंधी समस्याओं पर चर्चा करते हैं। चूँकि अब “लीड-फ्री” एवं “पर्यावरण-अनुकूल” मानकों की ओर बढ़ने का प्रयास किया जा रहा है, इसलिए पुराने तरीके अब काम नहीं कर रहे हैं। इसीलिए हमने वॉटरप्रूफ इन्फ्रारेड (IR) लैंपों का उपयोग किया। ऐसे लैंपों से रासायनिक घोलों की आवश्यकता ही नहीं रह जाती, एवं सुखाने की प्रक्रिया में होने वाला कार्बन उत्सर्जन भी कम हो जाता है। इन्फ्रारेड तकनीक का तर्क सामान्य कन्वेक्शन ओवनों के बारे में सोचिए… ऐसे ओवनों में हवा को गर्म करने हेतु बहुत ऊर्जा खर्च होती है; लेकिन वेफरों पर गर्मी पहुँचने में बहुत समय लगता है। यह बेकार ही है। इन्फ्रारेड तकनीक में ऊर्जा सीधे ही वेफर तक पहुँचती है… कोई मध्यवर्ती तत्व ही नहीं होता। चूँकि हमें धोने हेतु पानी का उपयोग करना ही पड़ता है, इसलिए हम वॉटरप्रूफ तत्वों का ही उपयोग करते हैं। अन्यथा नमी अंदर घुस जाती है, क्वार्ट्ज आवरण टूट जाता है… और फिर शॉर्ट-सर्किट हो जाता है। कोई भी ऐसी स्थिति से बचना ही चाहेगा। “पर्यावरण-अनुकूल” तरीके से काम करना जब हम “लीड-फ्री” मानकों का लक्ष्य रखते हैं, तो हमें नए प्रदूषकों को शामिल करने से बचना ही होता है। इन्फ्रारेड तकनीक एक “सूखने वाली” प्रक्रिया है… इसमें तेज़ गति हेतु वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंडों की आवश्यकता ही नहीं होती। हम शॉर्ट-वेव/मीडियम-वेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… ताकि पानी एवं अन्य अवशेष जल्दी ही वाष्पित हो जाएँ… लेकिन कुल तापमान कम ही रहे। यह बहुत ही अच्छा है… क्योंकि ऐसे में संवेदनशील वेफरों में कोई विकृति नहीं आती। कुछ कमियाँ… (क्योंकि कुछ भी परफेक्ट नहीं है) हालाँकि, उच्च-वॉटेज वाले लैंपों से तेज़ गति प्राप्त होती है… लेकिन ऐसे लैंप बहुत ही गर्म हो जाते हैं। यदि उन लैंपों के लिए उचित वेंटिलेशन व्यवस्था न हो, तो समस्याएँ हो सकती हैं… उचित कूलिंग फैनों के बिना ऊष्मा बढ़ जाती है… जिससे मशीन का ढाँचा विकृत हो सकता है, या सेंसर नष्ट हो सकते हैं। यह एक संतुलन बनाने का ही काम है। अच्छी बात यह है कि हमने ऐसे लैंपों को डिज़ाइन किया है… जो पुराने, जटिल हीटिंग तत्वों का सरल विकल्प हैं। ऐसे लैंपों का उपयोग करने से ऊर्जा की बचत होती है… एवं “पर्यावरण-अनुकूल” लक्ष्यों को पूरा किया जा सकता है… बिना किसी वेफर को नष्ट किए।