फैब फ्लोर पर, सोल्डर मास्क को सुखाने की प्रक्रिया कोई विराम नहीं है… बल्कि यह तो एक महत्वपूर्ण चरण है। यदि इस प्रक्रिया में कोई त्रुटि हो जाए, तो फोटोरेजिस्ट की संरचना में बदलाव हो जाता है, और लिथोग्राफी प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है। हमने इसी वास्तविकता को ध्यान में रखकर ही यह सिस्टम विकसित किया है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम वेफर पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखते हैं… ताकि हर जगह पर समान तापमान ही बना रहे। क्वार्ट्ज-हैलोजन लैंप, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं हेतु तेज एवं स्थिर प्रतिक्रिया देते हैं… जिससे साइकल टाइम कम हो जाता है, बिना नियंत्रण खोए। चैंबर को क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप ही डिज़ाइन किया गया है… एवं हर एयर पाथ को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि कोई भी कण न बने। तापमान नियंत्रण की सटीकता कुछ ही मिलीसेकंड में ही हो जाती है… जिससे प्रत्येक बार परिणाम सुसंगत रहते हैं।
7×24 घंटे काम करने में यह सिस्टम क्यों कारगर है?
जब 7×24 घंटे काम किया जाता है, तो विश्वसनीयता कोई मापदंड ही नहीं है… बल्कि यह तो एक आवश्यकता है। यह सिस्टम बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के ही काम करता है… एवं इसके घटक लंबे समय तक काम करने हेतु ही डिज़ाइन किए गए हैं… जिससे 5,000+ घंटों तक कोई रखरखाव आवश्यक ही नहीं है। कम रुकावटों के कारण ही उत्पादन स्थिर रहता है… एवं क्षमता भी पूर्वानुमेय रहती है। सटीकता के कारण ही अपर्याप्त/अत्यधिक उर्जा उपयोग से बचा जा सकता है… एवं साइकल टाइम भी कम हो जाता है।
आवश्यक व्यावहारिक विवरण:
इस सिस्टम को स्थापित करने हेतु एक विशेष एक्सहॉस्ट पथ एवं स्थिर वोल्टेज वाली बिजली आवश्यक है… क्योंकि लैंपों की लाइफस्पैन एवं स्थिरता इन्हीं चीजों पर निर्भर है। यह सिस्टम मानक वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं एवं SECS/GEM इंटरफेसों का उपयोग करता है… लेकिन पुराने सिस्टमों में इसे इंस्टॉल करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… ताकि सब कुछ सही ढंग से सेट हो सके। ऐसी व्यवस्था पहले ही कर लेनी आवश्यक है… ताकि सिस्टम हर दिन ठीक से काम कर सके।