लिथो-फ्लोर पर, यदि तापमान में आधा डिग्री का भी अंतर आ जाए, तो इससे वेफरों के आकार/गुणधर्म प्रभावित हो सकते हैं, और इसके परिणामस्वरूप पूरा वेफर-लॉट बर्बाद हो सकता है। ऐसी स्थिति में “अधिक तापमान” की आवश्यकता नहीं है; बल्कि ऐसा तापमान ही आवश्यक है जो हर बार निर्धारित मानों के अनुरूप हो।
हमने क्या बनाया, एवं इसका क्या महत्व है?
हमने इस कॉम्पैक्ट इन्फ्रारेड ड्रायर में मीडियम-वेव NIR एमिटरों एवं क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल सिस्टमों का उपयोग किया, ताकि वेफरों पर ±0.1°C की समान तापमान-स्थिरता बनी रहे। क्लोज्ड-लूप नियंत्रण प्रणाली के कारण तापमान में स्थिरता बनी रहती है; इससे वेफरों पर अनावश्यक तापमान-प्रभाव नहीं पड़ता।
यह क्लीनरूम-अनुकूल है… क्लास 1–100 में। इसमें कम गैस-निकासी वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, एवं लैमिनर एयरफ्लो प्रणाली के कारण कणों का उत्पादन शून्य रहता है। व्यावहारिक रूप से, इसका अर्थ है कि यह ड्रायर कोई दोष नहीं पैदा करता… बल्कि हमेशा समान तापमान-प्रोफाइल ही प्रदान करता है।
यह फैब्रिकेशन प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
आईसी निर्माण में, यह उपकरण ऐसी जगह पर ही स्थित है, जहाँ गति एवं सटीकता दोनों आवश्यक हैं। यह तेजी से निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है… एवं लंबे समय तक समान तापमान-स्थिरता बनाए रखता है। इसके परिणामस्वरूप स्थिर CD-नियंत्रण, कम पुनर्निर्माण, एवं स्थिर उत्पादन-दर प्राप्त होती है।
चूँकि यह तेजी से प्रतिक्रिया देता है, एवं केवल आवश्यक हिस्सों को ही गर्म करता है… इसलिए ऊर्जा-खपत कम हो जाती है। इसका आकार भी इतना छोटा है कि इसे सीमित जगहों में भी आसानी से रखा जा सकता है।
इसे सही ढंग से चलाने हेतु क्या आवश्यक है?
इसका एकीकरण आसान है… लेकिन इसे सही ढंग से चलाने हेतु एक विशेष पावर-सर्किट एवं स्वच्छ, शुष्क कंप्रेस्ड एयर आवश्यक है। रेसिपी को अपने फोटोरेसिस्ट-स्टैक के अनुरूप समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है।
एक बार यह सही ढंग से काम करने लगे, तो यह 24/7 काम करेगा… एवं हर बार समान तापमान-प्रोफाइल ही प्रदान करेगा।