נורת חימום של אוואטק לאידוי

בתהליך הליתוגרפיה, כמו שאתם יודעים, החימום של השבב יכול להסתחרר במהירות. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה? זה מספיק כדי לפגוע בשליטה בממדים החשובים של...