בחדר הייצור, שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לגרום לשינוי ברוחב הקווים – וכתוצאה מכך, חלקים רבים עלולים להפוך לחסרי תועלת. יציבות הטמפרטורה אינה עניין של בחירה; זו דרישה בסיסית של התהליך עצמו. ייצרנו את החיממים שלנו כך שיאפשרו אחידות טמפרטורית ברמת הוואפר, בטווח של ±0.1°C, על גבי גביים בגודל 150 ממ ו-200 ממ.
מה חשוב בפועל
אנו משתמשים בגופי פליטה בעלי גל ארוך ובגופי פליטה בתחום ה-NIR, יחד עם מחזירי קוורץ, כדי להעביר את האנרגיה למקום הנכון. כך נשמרת רמת האנרגיה נמוכה, והתגובה לשינויים בטמפרטורה מהירה. יציבות הטמפרטורה נמצאת בטווח של ±0.5°C, בטווח טמפרטורות של 90°C עד 250°C. כך, תהליכי החימום השונים מתבצעים ללא סטיות. התאמה לתנאי חדר נקי מסוג 1–100 נוצרת באמצעות חומרים בעלי רמת פליטת גזים נמוכה מאוד, חיבורים אטומים, וחוסר ביצירת חלקיקים במהלך התהליך. הביצועים נשארים יציבים לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי בעוצמה של פחות מ-5%.
זה חשוב בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט, מכיוון שהתנאים התרמיים הם קפדניים מאוד. החיממים שלנו שומרים על איכות התהליך מדגם לדגם, מה שמפחית את שינויי הרוחב של הקווים ומקטין את הצורך בעבודות תיקון. זמן החימום המהיר מקצר את זמן התהליך, והדיוק מאפשר שימוש יעיל באנרגיה, תוך הימנעות מפיצוי יתר. האמינות של החיממים באה לידי ביטוי בפחות התערבויות לא צפויות, וברמה קבועה של חלקיקים על הוואפר.
כמה הערות פרקטיות: החיממים האלו דורשים מקורות אנרגיה מתאימים ומדידי טמפרטורה מדויקים כדי שהתהליך יעבוד כראוי. שימוש בהם במערכות ישנות עשוי לדרוש שינויים מכניים קלים ועדכון של ערכי ההגדרה. יש להקפיד על התקנה תואמת לתנאי חדר נקי, ולוודא שהתקציב התרמי כולל את עקומת ההזדקנות של החיממים – אנו מספקים את נתוני העקומה כדי שתוכלו לשלוט בתהליך.