Maintenir les choses propres : la réalité du chauffage des semi-conducteurs Si vous avez déjà passé du temps dans une salle propre de classe 100, vous savez à quoi ressemble l’atmosphère y régnant. Il ne s’agit pas seulement des filtres à air. Le vrai problème, c’est tout ce qu’on ne peut pas voir : ces petites particules et gaz qui s’échappent de l’équipement et qui détériorent tout. En ce qui concerne les éléments de chauffage, un niveau de propreté « presque suffisant » ne suffit absolument pas. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté, ainsi que des revêtements en or. C’est la seule façon d’atteindre un niveau de contamination nul. Pourquoi utilisons-nous de l’or ? Pensez à une lampe infrarouge standard : elle déverse de la chaleur partout. Mais dans un environnement de fabrication de semi-conducteurs, chauffer le châssis de la machine constitue une perte d’énergie et représente également un problème. Pour résoudre ce problème, nous appliquons une fine couche d’or sur l’arrière du tube en quartz. Celle-ci agit comme un miroir, renvoyant toute l’énergie infrarouge vers la tranche de silicium. Vous vous demandez peut-être pourquoi nous ne utilisons pas simplement de l’aluminium. La raison est simple : l’aluminium s’oxyde. Lorsqu’il s’oxyde, il se fragmente en petits morceaux. Or, ces petits morceaux constituent en fait une menace pour les plaques de silicium. L’or, lui, reste stable, même lorsqu’il fait très chaud. L’importance des matériaux Nous utilisons du quartz de haute pureté, car nous ne pouvons pas permettre aux ions de pénétrer dans le système. Le verre bon marché contient des impuretés qui commencent à migrer dans la chambre une fois que la chaleur est activée. Nous nettoyons soigneusement nos tubes afin qu’il ne reste absolument rien sur leur surface. À l’intérieur, le filament se trouve dans un vide ou dans un espace rempli d’halogènes. Cela empêche le quartz de noircir avec le temps. Ainsi, la chaleur restée constante tout au long de la lampe. Quelques points à garder à l’esprit Ces lampes génèrent beaucoup de chaleur. Comme le revêtement en or renvoie énormément d’énergie, la surface ciblée atteint rapidement la température souhaitée. Vraiment très rapidement. Pour cette raison, il est essentiel de bien choisir ses contrôleurs PID et ses systèmes de refroidissement. Si votre système de refroidissement ne parvient pas à évacuer la chaleur des extrémités de la lampe, vous risquez de endommager les joints ou les connecteurs. Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent remplacer directement vos équipements actuels. Faites donc attention : assurez-vous que votre alimentation électrique puisse gérer les pics de puissance nécessaires pour ces cycles de chauffage rapides.