چرا از رزولوتورهای پوشیده شده با طلا برای جلوگیری از هدررفت انرژی استفاده میکنیم؟
در فرآیند تولید ویفرهای نیمههادی، اجازه دادن به نشت انرژی، در واقع یک اشکال در طراحی محسوب میشود. فولاد ضدزنگ صیقلخورده نیز میتواند تشعشعات مادون قرمز را منعکس کند، اما این کار برای دستیابی به دمای دقیق و بالا در ویفر کافی نیست.
به همین دلیل از محفظههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ در واقع، این کار باعث میشود انرژی در خود ماشین جذب نشود و دوباره به محل مناسب خود، یعنی روی سطح ویفر، برگردد.
دلیل استفاده از طلا
هدف از استفاده از طلا، زیبایی ظاهری ماشین نیست؛ بلکه طلا به خوبی میتواند تشعشعات مادون قرمز را منعکس کند. آلومینیوم یا فولاد همواره اجازه میدهند که مقداری از گرما وارد دیوارههای ماشین شود؛ اما طلا چنین کاری نمیکند. با استفاده از لایهای از طلا با خلوص بالا روی داخل محفظه گرمایشی، میتوانیم یک فضای انرژی متمرکز ایجاد کنیم؛ به این ترتیب، هر وات انرژی که از منبع تأمین انرژی دریافت میشود، واقعاً کار خود را انجام میدهد.
ساختار محفظه برای مقاومت در برابر گرما
ابتدا از فولاد ضدزنگ برای ساخت محفظه استفاده میکنیم؛ زیرا در هنگام گرم شدن یا سرد شدن ماشین، به چنین ساختاری نیاز است. سپس، از روش تهنشینی تحت واکوم برای ایجاد لایه طلا استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود ضخامت لایه طلا کاملاً یکنواخت باشد.
نتیجه؟ داشتن پروفایل حرارتی بهتر و سرعت بالاتری در رسیدن به دمای مورد نظر.
البته، یک نکته مهم وجود دارد: طلا کمی حساس است؛ اگر در محیطی با گازهای خورنده یا ذرات زیاد کار کنید، لایه طلا ممکن است آسیب ببیند یا پوسته بردارد. اگر محیط شما چنین است، بهتر است از سپر کوارتزی برای محافظت از محفظه استفاده کنید.
ترکیب تمام اجزا
وقتی این سیستمهای با بازتاب بالا را راهاندازی کنید، بلافاصله متوجه تفاوت خواهید شد؛ محفظه کمتر گرم میشود.
از آنجایی که گرما به جلو هدایت میشود و توسط فلز جذب نمیشود، براکتهای نصبی ماشین نیز تحت فشار حرارتی چندانی قرار نمیگیرند.
یک نکته دیگر در مورد نرمافزار: لازم است کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید؛ زیرا با کارایی بالاتر سیستم، تنظیمات قدیمی ممکن است باعث شود دمای ماشین از حد مورد نظر فراتر رود. کافی است تنظیمات را کمی تغییر دهید تا مشکل حل شود.