Warum wir goldbeschichtete Reflektoren verwenden, um Energieverschwendung zu vermeiden
Im Bereich der Halbleiterwafernverarbeitung ist es im Grunde genommen ein Konstruktionsfehler, wenn Energie verschwendet wird. Poliertes Edelstahlmaterial kann zwar Infrarotstrahlung gut reflektieren – doch das reicht nicht aus, wenn man präzise und effiziente Wärmeabgabe auf dem Wafer erreichen will.
Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Gehäuse. Dadurch wird verhindert, dass Energie in den Maschinenrahmen eindringt – sie wird stattdessen direkt dorthin geleitet, wo sie benötigt wird: auf den Wafer.
Die Logik hinter dem Gold
Es geht dabei nicht darum, die Maschine optisch attraktiver erscheinen zu lassen. Wir verwenden Gold, weil es hervorragend Infrarotstrahlung reflektiert. Aluminium oder Stahl lassen immer wieder etwas Wärme in die Wände eindringen – Gold hingegen nicht. Durch die Anwendung einer hochreinen Goldschicht auf der Innenseite des Heizelements entsteht eine konzentrierte Energielieferung. Das bedeutet, dass jede einzelne Wattstunde, die aus der Stromversorgung bezogen wird, tatsächlich ihren Zweck erfüllt.
Konstruktion für hohe Temperaturen
Wir beginnen mit Edelstahl als Material für das Gehäuse – schließlich braucht man eine stabile Struktur, wenn es um Erwärmung und Abkühlung geht. Anschließend verwenden wir Vakuumabscheidung, um die Goldschicht aufzubringen. Dadurch bleibt die Dicke der Schicht perfekt gleichmäßig.
Das Ergebnis? Ein viel besserer thermischer Profil – und die Aufwärmzeiten werden deutlich kürzer.
Ein Hinweis: Gold ist etwas anspruchsvoll. Wenn man mit korrosiven Gasen oder vielen Partikeln arbeitet, kann die Beschichtung Risse bekommen oder abblättern. In solchen Fällen sollte man ein schützendes Quarzschild verwenden.
Zusammenfassung
Sobald man diese hochreflektierenden Systeme in Betrieb nimmt, merkt man sofort etwas: Das Gehäuse bleibt kühler. Da die Wärme nach vorne geleitet wird und nicht vom Metall aufgenommen wird, werden die Befestigungselemente deutlich weniger unter thermischem Stress stehen.
Ein Tipp zum Softwarebereich: Passt Ihre PID-Controller an. Da das System viel effizienter ist, können die alten Einstellungen dazu führen, dass die gewünschte Temperatur überschritten wird. Passen Sie die Einstellungen an – dann funktioniert alles einwandfrei.