ক্লাস ১০০ ধরনের ক্লিনরুমগুলোকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। যখন আপনি সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকে কাজ করেন, তখন “তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ” হলো শুধুমাত্র অর্ধেক সমস্যা। আসল সমস্যা হলো দূষণ। ক্লাস ১০০ ধরনের পরিবেশে, একটি ছোট্ট পলিমার কণা বা একটি ধূলিকণাও আপনার ওয়েফারের গুণমানকে নষ্ট করে দিতে পারে।
এজন্যই আমরা সাধারণ হিটার ব্যবহার করি না। আমরা উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প এবং টেফলন-ইনসুলেটেড ওয়্যারিং ব্যবহার করি। এটাই গুরুত্বপূর্ণ।
উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজের গুরুত্ব
বেশিরভাগ কোয়ার্টজ ল্যাম্পেই ধাতব অশুদ্ধি থাকে। উচ্চ তাপমাত্রায় এই অশুদ্ধিগুলো বেরিয়ে আসতে পারে। সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ার জন্য এটা বিপর্যয়কর।
আমরা এই সমস্যা এড়াতে কৃত্রিম, উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এই ল্যাম্পগুলো শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড রেডিয়েশন ব্যবহার করে; ফলে এগুলো শক্তিকে সরাসরি সাবস্ট্রেটে পাঠায়। এগুলো চারপাশের বাতাসকে গরম করতে সময় নষ্ট করে না। এটা খুবই গুরুত্বপূর্ণ, কারণ এর ফলে মেঝে থেকে ধূলি উড়ে আসার সমস্যা কমে যায়।
ওয়্যারিং সংক্রান্ত সমস্যাগুলো
ওয়্যারিংই সাধারণত সবচেয়ে বেশি সমস্যা সৃষ্টি করে। যদি আপনি সাধারণ PVC বা সিলিকন জ্যাকেট ব্যবহার করেন, তাহলে উচ্চ তাপমাত্রায় সেগুলো থেকে ধোঁয়া বের হতে শুরু করে। এগুলো থেকে ভোলাটাইল অর্গানিক কম্পাউন্ডগুলো বের হয়, যা সিলিকনের উপর জমে যায়। এটা খুবই সমস্যাজনক।
আমরা লিড ওয়্যারিং হিসেবে টেফলন (PTFE) ব্যবহার করি। এটা উচ্চ তাপমাত্রাতেও অক্ষত থাকে, এবং কোনো গ্যাস নিঃসরণ করে না। এটা রাসায়নিকভাবে নির্জীব; তাই ভ্যাকুয়াম বা উচ্চ-তাপমাত্রার পরিবেশেও এটা ব্যবহার করা যায়।
মনে রাখার কয়েকটি বিষয়
এই ল্যাম্পগুলো অত্যন্ত উচ্চ তাপ উৎপন্ন করে। এটা দক্ষ, কিন্তু এর জন্য আপনাকে মাউন্টিং ব্র্যাকেটগুলো ঠিকমতো দেখতে হবে। যদি আপনার কুলিং সিস্টেম এই তাপ সামলাতে না পারে, তাহলে ল্যাম্পটি ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে।
আমরা এগুলোকে আপনার বর্তমান হিটারগুলোর বিকল্প হিসেবে ডিজাইন করেছি। এগুলো কোনো ধূলি নিঃসরণ করে না, এবং দ্রুত কাঙ্ক্ষিত তাপমাত্রায় পৌঁছায়।
অবশ্যই নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার পাওয়ার সাপ্লাই ল্যাম্পের ওয়াটেজের সাথে মেলে। নইলে ল্যাম্পটি দ্রুত ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে।