ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেক করার সময় ০.৫°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তনই লাইনওয়াইডনেসকে ন্যানোমিটার পর্যন্ত পরিবর্তিত করে দেয়; ফলে ভালো মানের উত্পাদনগুলো অকেজো হয়ে যায়। তাপমাত্রা স্থিতিশীল রাখা কেবলমাত্র একটি অপশন নয়; এটাই প্রক্রিয়াটির অংশ। আমরা এই বাস্তবতার জন্যই হিটারগুলো তৈরি করেছি; যাতে ১৫০ মিমি ও ২০০ মিমি আকারের সাবস্ট্রেটগুলোতে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন ও NIR এমিটারগুলোকে কোয়ার্টজ রিফ্লেক্টরগুলোর সাথে ব্যবহার করি; যাতে শক্তিটি ঠিক সেখানেই পৌঁছায়। এর ফলে তাপীয় ভার কমে যায় এবং প্রতিক্রিয়াও দ্রুত হয়। ৯০°C থেকে ২৫০°C পর্যন্ত তাপমাত্রায় তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি ±০.৫°C এর মধ্যে থাকে; ফলে “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলো সঠিকভাবে চলে। ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০ এর সাথে সামঞ্জস্য রাখার জন্য অত্যন্ত কম গ্যাস নির্গমনকারী উপকরণ, সিলড জংশন, এবং তাপীয় চক্রের সময় কোনো কণা উৎপন্ন না হওয়া অপরিহার্য। ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে আউটপুটটি স্থিতিশীল থাকে; তীব্রতার পরিবর্তন ৫% এর কম হয়।
লিথোগ্রাফি ও ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় এটা কেন গুরুত্বপূর্ণ? কারণ তাপীয় নিয়ন্ত্রণ খুবই গুরুত্বপূর্ণ। আমাদের হিটারগুলো প্রতিবারই প্রক্রিয়াটিকে সঠিক রাখে; ফলে লাইনওয়াইডনেসের পরিবর্তন কমে যায় এবং পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন হয় না। দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি করার ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়; আর নির্ভুলতার কারণে অতিরিক্ত শক্তি ব্যবহৃত হয় না। নির্ভরযোগ্যতার ফলে অপ্রয়োজনীয় হস্তক্ষেপ কমে যায়; আর ওয়েফারে কণার সংখ্যাও স্থিতিশীল থাকে।
কিছু ব্যবহারিক নোট: এই হিটারগুলোর জন্য উপযুক্ত পাওয়ার সাপ্লাই ও ক্যালিব্রেটেড পাইরোমিটার প্রয়োজন। পুরানো সিস্টেমে এগুলো ব্যবহার করলে কিছু যান্ত্রিক পরিবর্তন ও নতুন সেটপয়েন্ট প্রয়োজন হতে পারে। ক্লিনরুম-সংগত মাউন্টিং ব্যবস্থা ব্যবহার করুন; আর তাপীয় নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থায় এমিটারের বয়স-সংক্রান্ত তথ্যও অন্তর্ভুক্ত করুন। আমরা এই তথ্যগুলো সরবরাহ করি, যাতে আপনি প্রক্রিয়াটিকে নিয়ন্ত্রণে রাখতে পারেন।