
ঝামেলা ছাড়াই MEMS ওয়েফারগুলো শুকানো MEMS সেন্সর ওয়েফারগুলো দ্রুত শুকানো বেশ কঠিন কাজ। জলটি দ্রুত অদৃশ্য হওয়া প্রয়োজন; কিন্তু যদি অতিরিক্ত তাপ প্রয়োগ করা হয়, তাহলে সেই ক্ষুদ্র, নাজুক মাইক্রো-কাঠামোগুলো নষ্ট হয়ে যাবে। বেশিরভাগ মানুষ চেম্বারটিকে কনভেকশন হিট দিয়ে গরম করে ওয়েফারগুলো শুকানোর চেষ্টা করেন। এটা অকার্যকর। আসলে এতে শুধুমাত্র বাতাস ও দেয়ালগুলোই গরম হয়; ওয়েফারগুলো শুকায় না। আমরা ভিন্নভাবে কাজ করি। আমরা ডাইরেকশনাল ইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্প ব্যবহার করি। ঘরের সবকিছুকে গরম করার পরিবর্তে, আমরা শক্তিটিকে সরাসরি ওয়েফারের দিকে পাঠাই। ডাইরেকশনাল হিট ব্যবহার করার কারণ? সাধারণ হিটারগুলো সব দিকেই তাপ ছড়ায়—৩৬০ ডিগ্রিতে শক্তি নষ্ট হয়। সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রগুলোতে এর ফলে অভ্যন্তরীণ দেয়ালগুলো খুব গরম হয়ে যায়। এটা শক্তির অপচয়; আর যে ব্যক্তি যন্ত্রটি চালায়, তার জন্য এটা নিরাপত্তার ঝুঁকিও হতে পারে। আমরা রিফ্লেক্টিভ ব্যাকিংসহ শর্ট-ওয়েভ IR ল্যাম্প ব্যবহার করি। এটা যেন লাইটবাল্বের পরিবর্তে টর্চলাইট ব্যবহার করার মতো। সমস্ত শক্তি ওয়েফারে পড়ে; আর যন্ত্রের দেয়ালগুলো ঠান্ডা থাকে। এটা অনেক ভালো উপায়। কঠিন অংশটি দ্রুত শুকানোর জন্য আমরা সাধারণত উচ্চ-ওয়াটেজের হ্যালোজেন কোয়ার্টজ টিউব ব্যবহার করি। এগুলো দ্রুত তাপ সৃষ্টি করে। কিন্তু এর একটি সমস্যা রয়েছে—পাওয়ার সাপ্লাইয়ের উচিত এই অতিরিক্ত কারেন্টকে সামলাতে পারা। আর কয়েক সেকেন্ড সাশ্রয় করার জন্য ওয়াটেজকে সর্বোচ্চ করা যাবে না—এর ফলে থার্মাল শক হতে পারে। আসল রহস্য হলো দূরত্ব। যদি ল্যাম্পটি খুব কাছাকাছি থাকে, তাহলে “হট স্পট” তৈরি হয়; এর ফলে সেন্সর মেমব্রেনগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়। সবকিছু ঠিক রাখার জন্য সঠিক দূরত্ব খুঁজে বের করা জরুরি। বাস্তব জগতে এটা কীভাবে কাজ করে? যেহেতু তাপটি খুব কেন্দ্রীভূত থাকে, তাই যন্ত্রের বাইরে ভারী ইনসুলেশন লেয়ারের দরকার নেই। এর ফলে পুরো যন্ত্রটি ছোট ও সহজে পরিচালনাযোগ্য হয়। এছাড়া, PID কন্ট্রোলার ব্যবহার করে লক্ষ্য তাপমাত্রা অতিক্রম না হওয়া নিশ্চিত করা যায়। একটি গুরুত্বপূর্ণ টিপ: শর্ট-ওয়েভ IR ল্যাম্পগুলো লং-ওয়েভ ল্যাম্পগুলোর মতো কাজ করে না। এগুলো উপাদানগুলোর মধ্যে ভিন্নভাবে প্রবেশ করে। আপনার ওয়েফারটি কীভাবে তাপ শোষণ করে তা ভালোভাবে পরীক্ষা করা উচিত; যাতে সঠিক সময়ে তাপমাত্রা বাড়ানো যায়।