تجفيف رقائق أجهزة MEMS دون مشاكل تجفيف رقائق أجهزة MEMS يتطلب الحرص الشديد، فلا بد من التخلص من الماء بسرعة، لكن إذا تم ذلك بشكل مفرط، فإن ذلك قد يدمر التركيبات الدقيقة الموجودة في الرقائق. يستخدم معظم الناس حرارة التبادل الحراري لتجفيف الرقائق، لكن هذه الطريقة غير فعالة، لأنها تؤدي إلى تسخين الهواء والجدران، وهو ما يعتبر إهدارًا للطاقة، كما أنه يشكل خطرًا على من يقوم بتشغيل الجهاز. نحن نستخدم مصابيح الأشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي القصير، والتي تحتوي على أغطية عاكسة. بهذه الطريقة، تصل الطاقة مباشرة إلى الرقيقة، بينما تظل جدران الجهاز باردة. إنها طريقة أكثر كفاءة للتجفيف. الجزء الصعب لتحقيق التجفيف السريع، نستخدم أنابيب كوارتز هالوجينية ذات قدرة عالية على توليد الحرارة. لكن هناك مشكلة: يجب أن يكون مصدر الطاقة قادرًا على تحمل الزيادة المفاجئة في التيار الكهربائي. كما أنه لا يمكن رفع قدرة الجهاز إلى أقصى حد من أجل توفير بضع ثوانٍ، لأن ذلك قد يؤدي إلى صدمات حرارية. السر الحقيقي يكمن في المسافة بين المصباح والرقيقة؛ إذا كان المصباح قريبًا جدًا، فقد ينتج ذلك نقاط ساخنة قد تتسبب في تشوه الرقائق. المهم هو إيجاد المسافة المناسبة. التطبيق العملي بما أن الحرارة مركزة جدًا، فلا حاجة إلى استخدام طبقات عازلة ضخمة على الجزء الخارجي من الجهاز. هذا يجعل الجهاز أصغر حجمًا وأسهل في التشغيل. بالإضافة إلى ذلك، يمكن استخدام جهاز تحكم PID لضمان عدم تجاوز درجة الحرارة المطلوبة. نصيحة سريعة: أشعة الأشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي القصير لا تتصرف مثل أشعة الأشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي الطويل؛ فهي تخترق المواد بطريقة مختلفة. يجب التأكد من كيفية امتصاص الرقيقة للحرارة، حتى يتسنى تحديد الوقت المناسب للتجفيف.