في غرفة الطباعة بالليثوغرافيا، فإن عملية التسخين ليست مجرد خطوة تحضيرية بسيطة. بل إنها تساعد في تثبيت خصائص المذيبات، وتحديد مواصفات القرص المرن، كما تحدد درجة خشونة حواف الخطوط التي ستظل كما هي طوال اليوم. إذا اختلفت درجة حرارة الصينية الساخنة بمقدار ±2 درجة مئوية، فإن نطاق التسخين ينخفض بسرعة، ويزداد عدد القطع التالفة. لذلك، قمنا بتصنيع جهاز تسخين بأمواج متوسطة لمعالجة الرقاقات، للتخلص من هذه المشاكل.
ما يهم من الناحية التقنية: يقوم جهاز التسخين بأمواج متوسطة بتسخين الطبقة الفوتوريزست بشكل كامل، وليس فقط السطح. وهذا يؤدي إلى تسخين أسرع مع تأخير أقل. نحن نحافظ على توحيد درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، وعلى مستوى الإنتاج المتكرر ضمن نطاق ±0.05 درجة مئوية. يقع جهاز الإشعاع خلف غلاف من الكوارتز المغلق، بحيث لا توجد ملفات مفتوحة قد تطلق غازات أو جسيمات. جسم الجهاز متوافق مع بيئات العمل النظيفة من الدرجة 1 إلى 100، وجميع الأسطح معالجة بشكل يحافظ على استقرار درجة الحرارة، حتى أثناء العمل على مدار 24 ساعة. يتم التحكم في درجة الحرارة على مستوى الرقاقة نفسها، وليس على جهاز التسخين.
لماذا ينجح هذا النظام في الواقع؟ في عملية تسخين الفوتوريزست، من الضروري إزالة المذيبات بسرعة وبشكل متساوٍ، ثم الحفاظ على درجة حرارة مستقرة أثناء حركة الرقاقة. يصل جهاز التسخين بأمواج متوسطة إلى درجة الحرارة المطلوبة في ثوانٍ، ويظل بها، مما يعني أن كل رقاقة تخضع لنفس شروط التسخين. النتيجة هي تحكم أفضل في درجة الحرارة، وتقليل عدد القطع التالفة، بالإضافة إلى زيادة الكفاءة دون الحاجة إلى التحكم المستمر في درجة الحرارة. كما يتم توفير الطاقة، لأن الجهاز يركز الحرارة في المكان المطلوب، وانخفاض الكتلة الحرارية يقلل من الخسائر أثناء الانتظار.
بعض الملاحظات العملية: يتم تعديل جهاز التسخين بأمواج متوسطة لتناسب الأغشية العضوية على السيليكون، لكنه حساس للاختلافات في معدل الإشعاع على الفلزات أو الطبقات العازلة السميكة. يجب إجراء اختبارات قصيرة لتحديد الإعدادات المناسبة والتأكد من كفاءة الجهاز. يتطلب التركيب مصدر طاقة نظيف، بالإضافة إلى واجهة ميكانيكية موثوقة مع الرقاقة؛ فأي انحراف بمقدار أقل من مليمتر واحد قد يؤثر على توحيد درجة الحرارة. بمجرد ترتيب الجهاز بشكل صحيح، يعمل بحاجة إلى صيانة قليلة جداً. وعند الحاجة إلى استبدال الجهاز، يمكن تحديد موعد ذلك، دون الحاجة إلى التدخل في منتصف الليل.