数字式红外烘干机控制器

Fri, 17 Jul 2026 06:07:53 +0800

避免晶圆干燥过程中石英管破裂的噩梦

在那些高负荷运行的半导体工厂里，石英管的破裂并非仅仅是“技术故障”或短暂的停机时间问题，而是一场真正的灾难。想象一下：当石英管发生破裂时，玻璃碎片和卤素气体就会飞溅到晶圆上。一旦发生这种情况，整批晶圆就报废了。这种状况足以让任何工程师想要立刻离开工作岗位。

我们专门设计了数字控制器和灯具组件，就是为了防止这种情况的发生。

大多数石英管破裂都是因为热冲击造成的。如果直接给灯具施加全电压，石英管就无法承受如此大的压力。温度过高会导致石英管破裂。我们的数字控制器能够更温和地控制电压的上升过程，从而避免突然的电压峰值，从而保护硬件免受损害。

Sun, 28 Jun 2026 05:22:14 +0800

在晶圆加工过程中，哪怕温度偏差只有半度，都可能影响晶圆的尺寸精度，进而导致整批晶圆报废。因此，我们不需要那种“接近目标温度”的加热方式，而是需要能够始终保持在规定范围内的精确温度。

我们所设计的解决方案及其重要性 这款紧凑型红外干燥机配备了中波近红外发射器以及石英材质的加热结构，这样可以确保整个晶圆表面的温度稳定性在±0.1°C以内。闭环控制机制则能保证温度的重复性，从而让软烘和硬烘过程始终在光刻胶的耐受范围内进行。