Máy sưởi bằng tia hồng ngoại tần số trung bình dùng cho wafer

Trong quá trình nung phơi hóa chất trên bề mặt wafer, việc điều chỉnh nhiệt độ không phải là công việc đơn giản. Quá trình này giúp xác định tỷ lệ...