Máy sưởi bằng tia hồng ngoại tần số trung bình dùng cho wafer
Trong quá trình nung phơi hóa chất trên bề mặt wafer, việc điều chỉnh nhiệt độ không phải là công việc đơn giản. Quá trình này giúp xác định tỷ lệ...
Đế đèn gốm cho máy sưởi fab
Trên sàn fab, bạn biết tốc độ mọi thứ có thể đi sai nhanh đến mức nào. Sai lệch 0.5°C trong quá trình soft bake photoresist đủ để ảnh hưởng đến độ...
Khoảng cách an toàn cho việc đun nóng wafer
Trên sàn fab, khoảng cách giữa wafer và bộ gia nhiệt không phải là một chú thích—đó là một thông số quy trình mà bạn không thể bỏ qua. Để khoảng cách...
Bộ hẹn giờ cho lò sấy tấm wafer
Trên sàn sản xuất, bạn không thể coi việc bỏ lỡ cửa sổ nướng hoặc sai lệch thời gian sấy là vấn đề giấy tờ. Bạn gọi đó là phế phẩm.
Thời gian soft...
Đèn nung trong môi trường khí quyển kiểm soát
Trên sàn sản xuất, soft bake và hard bake không chỉ là “bước gia nhiệt”. Chúng giống như đi trên dây. Sai lệch 2°C sẽ làm kích thước quan trọng (CD)...
Cảm biến hồng ngoại chính xác cho tấm wafer
Trên dây chuyền, wafer tiếp xúc với trạm nung trong điều kiện ngân sách nhiệt cực kỳ hạn chế. Nung mềm định hình cấu trúc lớp photoresist. Nung cứng...