http://quartz-ir-heat-pro.com/uk/tags/%D1%96%D1%80/ Recent content in ІР on Pro Quartz Infrared Heating Hugo uk Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/uk/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/uk/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Прецизійний ІЧ датчик для пластини"></p> <p>На лінії пластина потрапляє на станцію випікання з дуже обмеженим тепловим бюджетом. М’яке випікання формує профіль фоторезисту. Жорстке випікання закріплює точність візерунка. Відхилення на кілька десятих градуса, непомітне гаряче місце — і розміри критичних розмірів (CD) починають зміщуватися. Напруження пеллікли змінюється. Дефекти проходять перевірку. Вранці на огляді виходу продукції одразу вказують на нерівномірність температури.<br> Ми розробили прецизійний ІЧ-датчик для пластини, щоб припинити цю ланцюгову реакцію в зародку. Він безпосередньо знімає температуру поверхні пластини in situ з роздільною здатністю і повторюваністю, необхідними для кроків випікання в літографії. Жодних припущень за показниками стінок камери. Жодного екстраполювання за термопарами, які бачать нагрівач, а не резист. Тільки чистий, стабільний сигнал, на який можна покладатися цикл за циклом.</p>