Сушіння захисної плівки для пластини

Mon, 29 Jun 2026 06:48:35 +0800

На виробничій лінії процес сушіння захисного шару не є просто перервою у роботі – це важлива стадія процесу. Якщо температура під час сушіння змінюється, профіль фоточутливого шару також змінюється, що призводить до проблем під час процесу літографії. Ми створили систему, яка враховує саме ці умови.

Що є важливим у цій системі
Ми підтримуємо температурну однорідність на всій поверхні пластини на рівні ±0,1°C, щоб кожна ділянка отримувала однаковий тепловий опір. Кварцово-галогенні лампи забезпечують швидку та стабільну реакцію під час сушіння, що дозволяє скоротити час виконання процесу без втрати контролю над ним. Камера призначена для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100; кожен шлях руху повітря розташований так, щоб уникнути утворення частинок. Точність контролю температури становить кілька мілісекунд, що забезпечує стабільні результати при обробці різних партій продукції.

Інфрачервоний нагрівач для сушіння ваферів

Sat, 27 Jun 2026 04:39:56 +0800

На виробничій лінії пластинка, яка виходить з процесу чищення, ніколи не є просто „вологою“. Це є проблемою – залишкова волога може призвести до утворення мікромостів та порушення структури патерну саме тоді, коли потрібно зберегти правильну геометрію фоторезисту.

Традиційне сушіння може спричинити наявність температурних градієнтів на поверхні пластинки. Ці градієнти не залишаються лише теоретичними проблемами – вони призводять до змін товщини ліній на поверхні пластинки. Ми створили інфрачервоні обігрівачі для сушіння пластинок, щоб усунути цей фактор.

Віфлеєм on Pro Quartz Infrared Heating

Сушіння захисної плівки для пластини

Інфрачервоний нагрівач для сушіння ваферів