http://quartz-ir-heat-pro.com/uk/tags/%D0%B1%D0%B5%D0%B7%D0%BF%D0%B5%D0%BA%D0%B0/ Recent content in Безпека on Pro Quartz Infrared Heating Hugo uk Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/uk/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/uk/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Безпечна відстань для нагрівання пластини"></p> <p>На виробничому майданчику відстань між пластинами та обігрівачем не є приміткою — це параметр процесу, який не можна ігнорувати. Якщо ця відстань змінюється, термічна однорідність порушується. Профілі м&rsquo;якого та твердого випікання йдуть вбік. Контроль CD знижується. Кількість переробок зростає.</p> <h2 id="що-дійсно-важливо-з-технічної-точки-зору">Що дійсно важливо з технічної точки зору</h2> <p>Ми встановлюємо повторювальну безпечну відстань, яка забезпечує термічну однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C. Система спирається на елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання для швидкої та стабільної реакції, а геометрія гарячої зони розроблена так, щоб підтримувати генерацію часток на нульовому рівні, навіть у чистих кімнатах класу 1–100. Повторюваність температури залишається стабільною протягом партій, змін та обладнання, тому тепловий бюджет залишається в межах допуску літографічного стеку.</p>