MEMS wafer lerinin kurutulması ve ekipmanların güvenliği için yöneltilebilir kızılötesi ısıtma

MEMS sensör yongalarını kurutmak oldukça zor bir iş. Suyun hızlı bir şekilde buharlaşması gerekiyor; ancak aşırı ısı uygulandığında, bu minik ve...