Sensör on Pro Quartz Infrared Heating

Akıllı sensör paketleme kızılötesi

Tue, 28 Jul 2026 04:57:07 +0800

Neden sensör paketleme işlemlerinde zorunlu hava kullanımını terk ediyoruz?
Eğer akıllı sensörlerle ilgili işler yapıyorsanız, en büyük sorunun genellikle beklemek olduğunu biliyorsunuz. Yani, parçaların ısınmasını beklemek zorundasınız.

Uzun süre boyunca sıcak hava kullanmak zorunda kaldık. Ancak zorunlu hava kullanımı oldukça yavaştır. Önce havayı, ardından da odanın içini ısıtmak gerekiyor; ancak o zaman parçalar gerçekten ısınmaya başlıyor. Bu, sanki oturma odasına saç kurutma makinesiyle hava üflemeye çalışmak gibi bir şey.

Kızılötesi ışınlar ise farklıdır. Aradaki aracıları ortadan kaldırır; enerji doğrudan lambadan malzemeye ulaşır. Çok hızlıdır. Gerçekten çok hızlı.

Wafer aracı için sıcaklık sensörü

Fri, 24 Jul 2026 11:34:49 +0800

Isıtma elemanlarının verimliliğinizi bozmasına izin vermeyin.
Eğer 100 sınıfı bir temiz oda kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar korkunç olduğunu zaten biliyorsunuzdur. Küçük bir malzeme parçası ya da hafif bir gaz sızıntısı bile tüm ürününuzun boşa gitmesine neden olabilir. Bu oldukça sinir bozucu bir durum. Çoğu standart ısıtma elemanı bu tür durumlar için uygun değildir; tam da stabil olmaları gereken anda parçalanır veya uçucu organik bileşikler salarlar.

Daha iyi bir çözüm bulduk. Yarı iletken üretimi için özel olarak tasarlanmış, yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambaları kullanıyoruz.

MEMS sensörü waferlerinin kurutulması için ısıtıcı

Sat, 18 Jul 2026 03:43:12 +0800

MEMS kurutma süreçlerinde meydana gelen lamba arızaları hakkında konuşalım. Eğer yüksek kapasiteli bir MEMS üretim hattı işletiyorsanız, bu tür durumların ne kadar kötü olabileceğini biliyorsunuzdur. Kızılötesi lambalar arızalanabiliyor. Bu sadece üretimin durmasından kaynaklanan sorun değil; aynı zamanda ortaya çıkan dağınıklık da büyük bir sorundur. Kuvars tüpü arızalandığında, cam parçaları ve tungsten birikintileri sensör waflarının üzerine düşüyor. Bir kez arıza olursa, tüm ürünler boşa gidiyor.

Bunu nasıl engelleyebileceğimizi bulmak için çok zaman harcadık.

Peki, bu lambalar neden arızalanıyor?
Genellikle bu durum, termal şok veya aşırı ısınmadan kaynaklanıyor. Yüksek yükler altında çalışıldığında, filaman ile tüpün uçları arasındaki sıcaklık farkı büyük mekanik gerilimlere yol açıyor. Bunun önüne geçmek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Bu malzeme, aşırı sıcaklık değişimlerine daha iyi dayanabiliyor. Ayrıca, duvar kalınlığını ve gaz basıncını da ayarlayarak, normal çalışma koşullarında karşılaşılabilecek zararlardan uzak duruyoruz.

Hidrojen sensörü üretimi için ısıtıcı

Mon, 13 Jul 2026 14:34:48 +0800

Hızlı değişen kimyasallarla çalışırken her şeyi soğuk ve güvenli tutmak
Hidrojen sensörleri üretirken sıcaklık kontrolü son derece önemlidir. Ancak buradaki sorun şu: Bu işlemler genellikle yanıcı temizleyicilerin bulunduğu ortamlarda yapılır. Böyle bir ortamda standart kızılötesi lambalar sadece bir araç olmaktan çıkıp bir tehlike haline gelir. Kuvars tüpünde meydana gelebilecek küçük bir kıvılcım veya çatlak bile ciddi sorunlara yol açabilir.

Daha iyi bir yol bulduk. Açık elemanlı ısıtma yerine kapalı bir sistem kullanıyoruz.

Kıvılcımları başlamadan önce engellemek
IR ısıtma elemanlarını kimyasallara dayanıklı kuvars malzemelerle sarıyoruz ve uçlarını alev geçirmez contalarla sıkıca kapatıyoruz. Bu sayede elektrik terminalleri havadan tamamen izole edilmiş oluyor. Isıtma elemanı izole olduğu için bu uçucu buharlar asla elektrik akımına yaklaşamıyor.

Wafer için hassas IR sensörü

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

Hat üzerinde, wafer çok ince bir termal bütçeyle bake istasyonuna temas eder. Soft bake, fotoresist profilini belirler. Hard bake, desen sadakatini kilitler. Birkaç onda derecelik sapma, görünmeyen bir sıcak nokta, ve CD’ler oynamaya başlar. Pellicle gerilimi kayar. Kusurlar muayeneden kaçar. Sonra ertesi sabah, verim değerlendirmesi doğrudan sıcaklık düzensizliğine işaret eder.

Bu zincir reaksiyonu kaynağında kesmek için wafer yüzey sıcaklığını doğrudan, in situ, litografi bake adımlarının gerektirdiği çözünürlük ve tekrarlanabilirlikle ölçen hassas bir IR sensörü geliştirdik. Hücre duvarlarından tahmin yok. Isıtıcıyı gören, resisti görmeyen termokupllardan çıkarım yok. Sadece döngü döngü güvenebileceğiniz temiz, stabil bir sinyal.