http://quartz-ir-heat-pro.com/tr/tags/orta/ Recent content in Orta on Pro Quartz Infrared Heating Hugo tr Thu, 18 Jun 2026 04:08:13 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/tr/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 18 Jun 2026 04:08:13 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/tr/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Wafeler için orta dalga kızılötesi ısıtıcı"></p> <p>Litografideki bu işlemde, hafif ısıtma işlemi sadece basit bir ısınma işlemi değildir. Bu işlem, çözücünün dağılımını belirler, CD’nin özelliklerini şekillendirir ve gün boyunca karşılaşacağınız hat kenarlarının pürüzlülüğünü belirler. Eğer ısıtabilir plaka ±2°C kadar saparsa, işlem sonuçları hızla kötüleşir. Reddedilen ürünler artar. Bu tür değişkenlikleri <a href="https://o-yate.com">ortadan</a> kaldırmak için wafer işlemleri için orta dalga inframerah ısıtıcılar kullanıyoruz.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar</strong><br> Orta dalga inframerah ısıtıcılar, yüzeyi değil, fotoresist tabakasının tamamını ısıtır. Böylece daha hızlı bir ısınma sağlanır ve gecikme olmaz. Aktif alan üzerindeki sıcaklık uniformitesini ±0.1°C içinde tutuyoruz; tekrarlanabilirliği ise ±0.05°C civarındadır. Isıtıcı elemanlar, gaz salımı veya parça dökülmesini engelleyecek şekilde mühürlü kuvars kutuların ardında yer alır. Isıtıcı gövdesi Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve her yüzey pasifleştirilmiştir; böylece 24/7 çalışmalarda bile parça sayısı sabit kalır. Sıcaklık kontrolü, ısıtıcı bloğunda değil, wafer düzleminde gerçekleşir.</p>