Kızılötesi verici için seramik uç kapağı

Wed, 22 Jul 2026 04:22:22 +0800

Neden IR vericilerinizin daha iyi uç kapaklara ihtiyacı var?
Eğer yarı iletken üretim tesislerinde biraz zaman geçirdiyseniz, hassas ısıtmanın her şeyin işleyip işlemeyeceğini belirlediğini biliyorsunuzdur. Hepimiz, waferlerin sıcaklığını sabit tutmak için IR vericilere güveniyoruz. Ancak sürekli karşılaşılan bir sorun var: Isıtıcı elemanın elektrik kablolarına temas ettiği nokta. İşte sistemin bozulduğu yer burasıdır. Bu yüzden seramik uç kapaklardan yararlanıyoruz. Bunları bir tür termal koruma sistemi olarak düşünün. Sadece parçaları yerinde tutmakla kalmaz; aynı zamanda ısının kabloların içine sızmasını ve hasara yol açmasını da engeller.

Wafer için hassas IR sensörü

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

Hat üzerinde, wafer çok ince bir termal bütçeyle bake istasyonuna temas eder. Soft bake, fotoresist profilini belirler. Hard bake, desen sadakatini kilitler. Birkaç onda derecelik sapma, görünmeyen bir sıcak nokta, ve CD’ler oynamaya başlar. Pellicle gerilimi kayar. Kusurlar muayeneden kaçar. Sonra ertesi sabah, verim değerlendirmesi doğrudan sıcaklık düzensizliğine işaret eder.

Bu zincir reaksiyonu kaynağında kesmek için wafer yüzey sıcaklığını doğrudan, in situ, litografi bake adımlarının gerektirdiği çözünürlük ve tekrarlanabilirlikle ölçen hassas bir IR sensörü geliştirdik. Hücre duvarlarından tahmin yok. Isıtıcıyı gören, resisti görmeyen termokupllardan çıkarım yok. Sadece döngü döngü güvenebileceğiniz temiz, stabil bir sinyal.

IR on Pro Quartz Infrared Heating

Kızılötesi verici için seramik uç kapağı

Wafer için hassas IR sensörü