http://quartz-ir-heat-pro.com/tr/tags/hassasiyet/ Recent content in Hassasiyet on Pro Quartz Infrared Heating Hugo tr Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/tr/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/tr/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Wafer için hassas IR sensörü"></p> <p>Hat üzerinde, wafer çok ince bir termal bütçeyle bake istasyonuna temas eder. Soft bake, fotoresist profilini belirler. Hard bake, desen sadakatini kilitler. Birkaç onda derecelik sapma, görünmeyen bir sıcak nokta, ve CD’ler oynamaya başlar. Pellicle gerilimi kayar. Kusurlar muayeneden kaçar. Sonra ertesi sabah, verim değerlendirmesi doğrudan sıcaklık düzensizliğine işaret eder.</p> <p>Bu zincir reaksiyonu kaynağında kesmek için wafer yüzey sıcaklığını doğrudan, in situ, litografi bake adımlarının gerektirdiği çözünürlük ve tekrarlanabilirlikle ölçen hassas bir IR sensörü geliştirdik. Hücre duvarlarından tahmin yok. Isıtıcıyı gören, resisti görmeyen termokupllardan çıkarım yok. Sadece döngü döngü güvenebileceğiniz temiz, stabil bir sinyal.</p>