Yönü belirlenmiş kızılötesi ısıtma yoluyla yarı iletken ekipmanlarındaki kabin sıcaklığının azaltılması
Ekipmanlarınızı Isıtmayı Bırakın: Isıyı Daha İyi Kontrol Etmek İçin Bir Yöntem Çoğu standart ısıtma elemanı biraz dağınıktır; enerjiyi her yöne yayar...
Wafer ısıtma için güvenlik mesafesi
On the fab floor, wafer ile ısıtıcı arasındaki boşluk bir dipnot değildir—gözardı edilemeyecek bir proses parametresidir. Bu mesafe kayarsa, termal...