Лампа нагрева испарителя Evatec

Wed, 01 Jul 2026 12:23:09 +0800

На этапе литографии важно понимать, насколько быстро может нарушиться контроль над температурой при процессе обработки пленки. Даже небольшое отклонение в полградуса может привести к сбоям в процессе и к необходимости уничтожения большого количества заготовок. Нагревательные лампы Evatec разработаны для работы в таких условиях: они обеспечивают излучение инфракрасного света с высокой степенью однородности по всей поверхности пластины. Благодаря этому можно гарантировать стабильность параметров обработки пленки на протяжении множества циклов.

Что имеет значение с технической точки зрения
Эти лампы используют инфракрасное излучение короткой длины волны, что позволяет направлять тепловую энергию именно туда, где это необходимо. Кроме того, они обеспечивают быстрый регулирование температуры и строгий контроль над ею. Высокая степень однородности позволяет сохранять температуру в пределах установленных значений, что способствует стабильности процесса обработки. В результате снижается изменчивость ширины линий, уменьшается количество дефектов, а также сокращается время, необходимое для завершения процесса. Мы разрабатываем лампы с учетом необходимости их повторяемости: их производительность остается стабильной на протяжении тысяч циклов, что позволяет получать одинаковые результаты каждый раз.

Испаритель on Pro Quartz Infrared Heating

Лампа нагрева испарителя Evatec