Контроллер цифрового инфракрасного сушильника

Fri, 17 Jul 2026 06:07:19 +0800

Как избавиться от ужасной ситуации, когда лампы в процессе сушки кристаллов разрушаются
На производствах полупроводников высокой производительности разрушение инфракрасной лампы — это не просто техническая неисправность или небольшая перерыв в работе. Это настоящая катастрофа.
Представьте себе: кварцевая трубка ломается, и в результате на кристаллы падают осколки стекла и газ хлора. Один такой случай может привести к тому, что весь заготовленный объем кристаллов станет бесполезным. Это тот самый день, когда любой инженер хочет уйти с работы домой.
Мы создали специальные цифровые контроллеры и устройства для ламп, чтобы такого не происходило.

Компактный инфракрасный сушил для ИС

Sun, 28 Jun 2026 05:22:11 +0800

На литографическом столе даже небольшое изменение температуры в половину градуса может привести к смещению критических параметров и потере всей партии пластин. Не нужна температура, которая кажется «достаточно высокой». Нужна температура, соответствующая заданным параметрам, и это должно сохраняться на протяжении всего процесса обработки.

Что мы создали и почему это важно
Мы разработали этот компактный инфракрасный сушильник с излучателями средней длины волны и тепловым элементом на основе кварца. Благодаря этому удается поддерживать однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Замкнутый контур управления обеспечивает высокую точность поддержания температуры, что позволяет сохранять параметры обработки в пределах допустимых значений.

Драер on Pro Quartz Infrared Heating

Контроллер цифрового инфракрасного сушильника

Компактный инфракрасный сушил для ИС