Датчик on Pro Quartz Infrared Heating

Умная упаковка датчиков инфракрасного излучения

Tue, 28 Jul 2026 04:57:07 +0800

Почему мы отказываемся от использования принудительного обдува в упаковке датчиков в пользу инфракрасного излучения
Если вы работаете с обработкой сенсоров, то знаете, что самой большой проблемой обычно является ожидание. А именно — ожидание того момента, когда все нагреется.

Долгое время мы полагались на принудительный обдув горячим воздухом. Но этот метод медленный: сначала необходимо нагреть воздух, затем камеру, и только после этого начинается нагрев самого деталя. Это похоже на попытку подогреть дом с помощью фена.

Инфракрасное излучение работает иначе. Энергия поступает напрямую от лампы к поверхности детали. Это быстро. Очень быстро.

Датчик температуры для инструмента для обработки пластин

Fri, 24 Jul 2026 11:34:48 +0800

Прекратите позволять нагревательным элементам разрушать качество вашей продукции
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, каково это — сталкиваться с такими проблемами. Одна-единственная крошечная частица материала или небольшое количество летучих органических соединений могут испортить всю партию продукции. Это очень раздражает. Большинство стандартных нагревательных элементов не рассчитаны на такие условия: они начинают разрушаться или выделять летучие органические соединения именно тогда, когда это совсем не нужно.

Мы нашли лучший способ. Мы используем инфракрасные лампы из синтетического кварца высокой чистоты, предназначенные специально для работы с полупроводниками.

Нагреватель для сушки пластин с датчиками MEMS

Sat, 18 Jul 2026 03:43:12 +0800

Давайте поговорим о поломках ламп в устройствах для сушки MEMS. Если вы работаете с производственными линиями высокой нагрузки, вы знаете, какой это кошмар – когда внезапно ломается инфракрасная лампа. Речь идет не только о простое, хотя это тоже плохо. Проблема в том, что при разрушении кварцевой трубки образуются осколки стекла и осадки вольфрама, которые могут повредить чипы. Одна такая поломка может сделать всю партию продукции бесполезной.

Мы потратили много времени на поиск способов предотвращения этого.

Нагреватель для производства датчиков водорода

Mon, 13 Jul 2026 14:34:48 +0800

Как сохранять стабильную температуру (и безопасность) при работе с летучими химикатами
При изготовлении датчиков водорода контроль температуры имеет решающее значение. Но есть проблема: обычно такая работа проводится рядом с горючими чистящими средствами. В такой среде стандартная инфракрасная лампа представляет собой не просто инструмент, а источник опасности. Одна маленькая искра или трещина в кварцевой трубке может привести к серьезным проблемам.

Мы нашли более эффективное решение. Вместо использования открытых нагревательных элементов мы перешли на систему с герметичной упаковкой.

Точный ИК датчик для пластины

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

На линии пластина попадает на станцию запекания с минимальным тепловым бюджетом. Мягкое запекание задаёт профиль фоторезиста. Жёсткое запекание фиксирует точность паттерна. Несколько десятых градуса дрейфа, скрытая горячая точка — и размеры CD начинают уходить. Напряжение пелликулы смещается. Дефекты проходят проверку. А утром на обзоре выхода годных сразу указывают на неравномерность температуры.

Мы разработали прецизионный ИК-датчик для пластины, чтобы пресечь эту цепочку на корню. Он измеряет температуру поверхности пластины напрямую, in situ, с разрешением и повторяемостью, необходимыми для этапов литографического запекания. Без догадок по стенкам камеры. Без экстраполяций по термопарам, которые видят нагреватель, а не резист. Только чистый, стабильный сигнал, на который можно полагаться цикл за циклом.