Вафля on Pro Quartz Infrared Heating

Сушка защитной пленки для подложек

Mon, 29 Jun 2026 06:48:35 +0800

На производственной линии этап сушки защитного слоя не является просто паузой в работе оборудования — это важный этап процесса. Если температура сушки изменяется, профиль распределения фотополимера меняется, что негативно сказывается на качестве получаемых изделий. Мы разработали систему, учитывающую эти особенности.

Что действительно важно Мы поддерживаем температурную однородность по всей поверхности пластины с точностью до ±0,1°C. Таким образом, каждая зона пластины получает одинаковые условия обработки. Кварцево-галогенные лампы обеспечивают быстрое и стабильное нагревание, что позволяет сократить время обработки без потери контроля над процессом. Камера предназначена для использования в чистых помещениях класса 1–100; все воздушные каналы спроектированы так, чтобы минимизировать образование частиц. Повторяемость контроля температуры составляет несколько миллисекунд, что обеспечивает стабильность качества продукции при производстве серийных партий.

Безопасное расстояние для нагрева подложек

Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800

На производственном этаже расстояние между пластиной и нагревателем не является сноском — это параметр процесса, который нельзя игнорировать. Если это расстояние изменится, термическое равновесие нарушается. Профили мягкой и жесткой сушки отклоняются. Контроль CD ухудшается. Количество переработок увеличивается.

Что действительно имеет значение с технической точки зрения

Мы устанавливаем повторяемое безопасное расстояние, которое обеспечивает термическое равновесие на уровне пластины в пределах ±0.1°C. Система использует элементы коротковолнового инфракрасного излучения для быстрой и стабильной реакции, а геометрия горячей зоны спроектирована так, чтобы поддерживать генерацию частиц на нулевом уровне, даже в чистых помещениях класса 1–100. Повторяемость температуры сохраняется на разных партиях, сменах и оборудовании, так что термический бюджет остаётся в пределах допустимой толерантности литографической системы.

Таймер для печи сушки пластин

Wed, 03 Jun 2026 12:14:39 +0800

На производственном участке пропуск окна запекания или отклонение времени сушки нельзя списать на бумажную ошибку. Это браковка.
Время мягкого и твердого запекания фоторезиста задаёт контроль размеров (CD) и адгезию с самого начала. В упаковочном производстве остаточная влага проявляется позже в виде расслоения после заливки и переплавки.
Таймер печи — это не просто секундомер. Он должен являться опорой процесса.

Что важно с технической точки зрения
Данный таймер для печей сушки пластин обеспечивает повторяемое время с точностью установки ±0,1% в циклах запекания и сушки, а также сохраняет показания при перепадах питания благодаря энергонезависимой памяти. Он интегрируется с ПЛК печи через сухие контакты и входы 4-20 мА, а также регистрирует время, температуру и аварийные сигналы в MES для точной прослеживаемости.
Дисплей читается чётко с противоположной стороны участка, даже при низкой освещённости. Интерфейс сделан максимально простым с целью минимизации вариативности операторов.
Дисциплина теплового бюджета проявляется в результате работы. Постоянное время обеспечивает стабильность профилей фоторезиста и предотвращает пересушивание, которое может привести к затвердению остатков и увеличению количества частиц.

Точный ИК датчик для пластины

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

На линии пластина попадает на станцию запекания с минимальным тепловым бюджетом. Мягкое запекание задаёт профиль фоторезиста. Жёсткое запекание фиксирует точность паттерна. Несколько десятых градуса дрейфа, скрытая горячая точка — и размеры CD начинают уходить. Напряжение пелликулы смещается. Дефекты проходят проверку. А утром на обзоре выхода годных сразу указывают на неравномерность температуры.

Мы разработали прецизионный ИК-датчик для пластины, чтобы пресечь эту цепочку на корню. Он измеряет температуру поверхности пластины напрямую, in situ, с разрешением и повторяемостью, необходимыми для этапов литографического запекания. Без догадок по стенкам камеры. Без экстраполяций по термопарам, которые видят нагреватель, а не резист. Только чистый, стабильный сигнал, на который можно полагаться цикл за циклом.