Lâmpada halógena para sistema RTP

Mon, 22 Jun 2026 23:30:23 +0800

Na linha de produção, as flutuações térmicas não são algo teórico – elas se manifestam como variações na largura das linhas e impactos no rendimento do processo. No caso do RTP, a lâmpada é o elemento que realmente controla o processo. Se o perfil térmico mudar, o perfil do fotoresisto também se altera, e assim você gasta energia à toa.

O que é importante, tecnicamente Escolhemos lâmpadas halógenas para o RTP, com radiação infravermelha de onda curta, para que o silício absorva o calor de maneira eficiente. Isso permite taxas de aquecimento em menos de um segundo, sem exceder os limites desejados. A uniformidade da temperatura na área ativa fica dentro de ±0,1°C – esse tipo de controle é essencial para manter a precisão dimensional dos produtos. O invólucro de quartzo e a geometria do filamento são projetados para manter uma saída estável por mais de 5.000 horas, com variação de intensidade inferior a 5%. É preciso ajustar a saída da lâmpada de acordo com a massa térmica do processo: rapidez quando é necessário realizar tratamentos rápidos, e controle quando são necessários tratamentos mais lentos.

RTP on Pro Quartz Infrared Heating

Lâmpada halógena para sistema RTP