IR on Pro Quartz Infrared Heating

Capa final de cerâmica para emissor de IR

Wed, 22 Jul 2026 04:22:22 +0800

Por que seus emissores de IR precisam de tampas melhores

Se você já passou algum tempo em uma fábrica de semicondutores, sabe que o aquecimento preciso é fundamental para que tudo funcione corretamente. Todos nós dependemos dos emissores de IR para manter a temperatura das pastilhas estável. No entanto, há um problema recorrente: o ponto onde o elemento de aquecimento entra em contato com os fios elétricos. É exatamente aí que o sistema falha.

Refletor de alumínio para lâmpada IR

Sun, 12 Jul 2026 09:31:40 +0800

Como evitar a formação de poeira: Como obter aquecimento por IR em uma sala de classe 100

Se você já tentou usar um aquecedor por IR comum em uma sala limpa de classe 100, sabe que é um verdadeiro pesadelo. Assim que o aquecedor é ligado, as pastilhas ou lentes acabam danificadas. Por quê? Porque a maioria dos aquecedores funciona como “fábricas de partículas”. Eles se desintegram e liberam gases que não devem estar perto dos seus produtos.

Sensor IR de precisão para wafer

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

Na linha, o wafer atinge a estação de bake com um orçamento térmico extremamente restrito. O soft bake define o perfil do fotoresiste. O hard bake fixa a fidelidade do padrão. Uma deriva de alguns décimos de grau, um ponto quente invisível, e suas CDs começam a variar. O estresse da pellicle se desloca. Defeitos ultrapassam a inspeção. Então, na manhã seguinte, a revisão do rendimento aponta diretamente para a não uniformidade da temperatura.

Construímos um sensor IR de precisão para o wafer, a fim de interromper essa cadeia de reações na origem. Ele mede diretamente a temperatura da superfície do wafer, in situ, com a resolução e repetibilidade exigidas pelas etapas de bake na litografia. Sem suposições baseadas nas paredes da câmara. Sem extrapolações a partir de termopares que detectam o aquecedor, não o resist. Apenas um sinal limpo e estável, confiável ciclo após ciclo.