Lâmpada de aquecimento do evaporador Evatec

Wed, 01 Jul 2026 12:23:09 +0800

No setor de litografia, sabe-se quão rapidamente o processo de aquecimento pode sair do controle. Uma mudança de meio grau já é suficiente para comprometer o controle das dimensões críticas e causar grandes perdas. As lâmpadas de aquecimento da Evatec foram projetadas para lidar com esse tipo de pressão, gerando calor infravermelho com uniformidade de sub-milímetro em toda a superfície do wafer. O resultado são perfis de aquecimento confiáveis, ciclo após ciclo.

O que importa, tecnicamente Essas lâmpadas utilizam luz infravermelha de onda curta para direcionar a energia térmica exatamente onde é necessária, com taxas de aquecimento rápidas e controle preciso sobre o balanço térmico. Essa uniformidade de sub-milímetro mantém a temperatura dentro de limites estreitos, garantindo que tanto o aquecimento suave quanto o aquecimento intenso permaneçam consistentes. Na prática, isso resulta em menor variação na largura das linhas, menor densidade de defeitos e um processo mais previsível. Nós projetamos essas lâmpadas para garantir repetibilidade: sua performance permanece estável ao longo de milhares de ciclos, permitindo que a mesma configuração sempre produza resultados consistentes.

Evatec on Pro Quartz Infrared Heating

Lâmpada de aquecimento do evaporador Evatec