Aquecedor infravermelho de onda média para wafers
No processo de secagem do fotoresisto, esse aquecimento suave não é apenas um procedimento de aquecimento temporário. Ele serve para fixar o perfil...
Suporte de lâmpada de cerâmica para aquecedor fab
No chão de fábrica, você sabe como as coisas podem sair do controle rapidamente. Um desvio de 0,5°C durante o soft bake do fotoresiste é suficiente...
Distância de segurança para aquecimento de pastilhas
No chão de fábrica, a distância entre a pastilha e o aquecedor não é um detalhe secundário—é um parâmetro de processo que não se pode ignorar. Se...
Temporizador para forno de secagem de pastilhas
No chão de fábrica, não se pode considerar uma janela de bake perdida ou uma deriva no tempo de secagem como um problema de documentação. Chama-se...
Lâmpada de cozimento em atmosfera controlada
No chão de fábrica, soft bake e hard bake não são apenas “etapas de aquecimento”. São um fio de navalha. Um desvio de 2°C desloca sua dimensão...
Sensor IR de precisão para wafer
Na linha, o wafer atinge a estação de bake com um orçamento térmico extremamente restrito. O soft bake define o perfil do fotoresiste. O hard bake...