http://quartz-ir-heat-pro.com/pl/tags/precyzja/ Recent content in Precyzja on Pro Quartz Infrared Heating Hugo pl Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/pl/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/pl/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Precyzyjny czujnik podczerwieni do płytki krzemowej"></p> <p>Na linii wafelek trafia do stacji wypału z minimalnym budżetem cieplnym. Soft bake ustawia profil fotooporu. Hard bake utrwala zgodność wzoru. Kilka dziesiątych stopnia dryfu, niewidoczny hotspot i wymiary CD zaczynają się rozjeżdżać. Napięcia pellicle się przesuwają. Defekty prześlizgują się przez kontrolę. Następnego ranka analiza wydajności wskazuje bezpośrednio na niejednorodność temperatury.<br> Zaprojektowaliśmy precyzyjny czujnik IR dla wafla, aby przerwać tę reakcję łańcuchową u źródła. Odczytuje temperaturę powierzchni wafla bezpośrednio, in situ, z rozdzielczością i powtarzalnością wymaganymi w krokach wypału litografii. Bez domysłów na podstawie ścian komory. Bez ekstrapolacji z termopar mierzących grzałkę, a nie fotoopór. Tylko czysty, stabilny sygnał, na którym można polegać cykl po cyklu.</p>