Timer voor waferdroogoven

Wed, 03 Jun 2026 12:14:39 +0800

Op de productievloer noem je een gemiste bake-window of een afwijking in droogtijd geen administratief probleem. Je noemt het afval. De soft bake- en hard bake-tijden van photoresist bepalen de CD-controle en hechting al vanaf het begin. In de verpakking verschijnt achtergebleven vocht later als delaminatie na het vormen en reflow. De ovendeur moet niet alleen een stopwatch zijn. Hij moet het proces verankeren. Wat technisch telt Deze Timer voor wafer-droogovens levert herhaalbare timing met een nauwkeurigheid van ±0,1% ten opzichte van de ingestelde waarde gedurende bake- en droogcycli, en bewaart de tijd bij spanningsonderbrekingen met niet-vluchtig geheugen. Hij integreert met oven-PLC’s via droge contacten en 4-20 mA-ingangen, en registreert tijd, temperatuur en alarmen naar het MES voor exacte traceerbaarheid. Het display is goed afleesbaar over de hele afdeling, zelfs bij weinig licht. De interface is bewust eenvoudig gehouden: om variatie tussen operators te beperken. Thermisch budgetbeheer blijkt in het werk. Consistente timing houdt photoresistprofielen stabiel en voorkomt overdroging, wat residu kan verharden en het aantal deeltjes kan verhogen. Waarom het in de praktijk standhoudt In Class 1–100 cleanrooms houdt de timer ovencycli beheerst zonder extra complexiteit toe te voegen. Photoresistverwerking wordt herhaalbaar: soft bake- en hard bake-vensters blijven binnen specificaties, wat leidt tot betere overlay- en CD-uniformiteit. Verpakkingslijnen verminderen afkeuringen door vochtgerelateerde voiding doordat droogtijden per shift consequent worden gehandhaafd. Ook daalt het energieverbruik, omdat de timer staged soak-profielen ondersteunt die onnodig lang verblijven bij hoge temperaturen vermijden. Het resultaat is minder afwijkingen, scherpere controlelimieten en minder ongeplande stilstand. Wat u vooraf moet weten Retrofitting is op de meeste ovens eenvoudig, maar controleer vooraf het type bestaande sensor, contactwaarderingen en communicatiepad voordat u installeert. De timer werkt met standaard oven-voedingsarchitecturen, maar lost geen zwakke verwarmingselementen of slechte luchtstroming op — de prestatie blijft afhankelijk van de thermische uniformiteit van de oven zelf. Voer een korte inbedrijfstelling uit om timer-instellingen te correleren met metingen op waferniveau in uw daadwerkelijke proces.

Precisie IR sensor voor wafer

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

Op de lijn raakt de wafer het bake station met een uiterst beperkte thermische budget. Soft bake bepaalt het profiel van de photoresist. Hard bake verankert de patroongetrouwheid. Een afwijking van enkele tienden van een graad, een hotspot die je niet ziet, en je CDs beginnen te verschuiven. Pellicle spanning verandert. Defecten glippen langs de inspectie. De volgende ochtend wijst de yield review direct naar temperatuurongelijkheid.

We hebben een precisie IR-sensor ontwikkeld voor de wafer om die kettingreactie bij de bron te stoppen. Hij meet de waferoppervlaktetemperatuur direct, in situ, met de resolutie en reproduceerbaarheid die lithografie bake stappen vereisen. Geen giswerk aan de kamerwanden. Geen extrapoleren van thermokoppels die de heater zien, niet de resist. Alleen een zuiver, stabiel signaal waarop je kunt vertrouwen, cyclus na cyclus.

Wafer on Pro Quartz Infrared Heating

Timer voor waferdroogoven

Precisie IR sensor voor wafer