Wafel on Pro Quartz Infrared Heating

Temperatuursensor voor wafertool

Fri, 24 Jul 2026 11:34:50 +0800

Stop met het toestaan dat je verwarmingselementen je productiecapaciteit beperken.
Als je een cleanroom van klasse 100 hebt, weet je vast al hoe frustrerend dit kan zijn. Eén klein stofdeeltje of een beetje gasontwikkeling is al voldoende om je hele productie te verpesten. De meeste standaardverwarmingselementen zijn hier niet geschikt voor; ze gaan kapot of zorgen voor het vrijkomen van vluchtige organische verbindingen, precies op het moment dat ze stabiel moeten blijven.

Wij hebben een betere oplossing gevonden. We gebruiken IR-lampen gemaakt van hoogzuiver synthetisch kwarts, speciaal ontworpen voor gebruik in semiconductiefabrieken.

Reflector voor wafercurelamp

Sun, 19 Jul 2026 15:42:36 +0800

Stop met het laten gebeuren dat kapotte lampen je wafers beschadigen
Wanneer je wafers onder hoge druk laat drogen, is een defecte lamp een nachtmerrie. Het gaat niet alleen om het feit dat de machine even stopt met werken. Als een kwartsbuis kapotgaat, vallen er glassplinters en halogeenresten recht op de wafers terecht. Dat betekent meteen dat de wafers niet meer bruikbaar zijn. Dure producten, in één klap verloren.

We hebben een manier gevonden om dit te voorkomen: we hebben een fysieke barrière en een behuizing met hoge reflectiviteit toegevoegd aan de lampen.

HEATER VOOR DROGEN VAN MEMS SENORSCHILDFLEN

Sat, 18 Jul 2026 03:43:12 +0800

Laten we het hebben over het breken van lampen in MEMS-droogapparaten.
Als je een MEMS-apparaat met hoge belasting gebruikt, ken je vast dit nachtmerriescenario: de infraroodlamp breekt.
Het gaat niet alleen om de stilstand die dit met zich meebrengt – dat is al vreselijk genoeg – maar ook om de chaos die ontstaat. Als een kwartsbuis breekt, vallen er scherven glas en wolframdeposiettjes op de sensorkwalen. Eén breuk betekent dat je hele partij producten onbruikbaar wordt.

Energiezuinige waferverwarmer

Wed, 15 Jul 2026 09:56:33 +0800

Stop met het verspillen van warmte: Waarom we gouden reflectoren gebruiken

Laten we eerlijk zijn: er is niets frustrerender dan geld uitgeven aan energie die gewoon verdwijnt in de muren van de behuizing. Wanneer je wafers bewerkt, is elke watt die niet op het substraat terechtkomt eigenlijk geld dat in het niets verdwijnt.
Daarom hebben we gekozen voor reflectoren die bedekt zijn met goud. Het klinkt luxueus, maar de logica is heel eenvoudig. We willen dat al die warmte precies op de plek terechtkomt waar het moet zijn: op de wafer.

Drogen van de soldermask voor de wafer

Mon, 29 Jun 2026 06:48:35 +0800

Op de productielijn is het drogen van de soldermask geen tijdelijke pauze, maar een essentieel onderdeel van het proces. Als er afwijkingen optreden tijdens het drogen, verandert ook het profiel van de fotoresist. Hierdoor kan de lithografieproces worden beïnvloed. We hebben het systeem ontworpen om dit probleem te voorkomen.

Wat belangrijk is voor het functioneren van het systeem We zorgen ervoor dat de temperatuur over het hele waferoppervlak binnen ±0,1°C blijft. Op deze manier krijgt elk gebied dezelfde thermische omstandigheden. Kwarts-halogeenlampen zorgen voor een snelle en stabiele reactie bij zowel milde als strenge droogingsprocedures. Dit bevordert een kortere cyclusduur zonder dat de controle verloren gaat. De kamer is geschikt voor een zuiverheidsniveau van Class 1–100. Alle luchtpaden zijn zo ingericht dat er geen stofdeeltjes ontstaan. De nauwkeurigheid van de temperatuurregeling ligt op een niveau van enkele milliseconden. Dit zorgt ervoor dat de resultaten consistent blijven, van productie tot productie en van batch tot batch.

Infraroodverwarmer voor het drogen van wijfjes

Sat, 27 Jun 2026 04:39:56 +0800

Op de productielijn is een wafer die uit de zuivere omgeving komt nooit ‘gewoon vochtig’. Het is eerder een risico. Overblijvend vocht kan later leiden tot microbruggen en andere problemen – precies op het moment dat je de geometrie van de fotoresist wilt behouden.

Conventionele droogmethoden kunnen thermische verschillen over het oppervlak van de wafer veroorzaken. Deze verschillen blijven niet beperkt tot theorieën; ze leidden tot variaties in de dikte van de lijnen op het oppervlak van de wafer. We hebben speciale infrarode verwarmers ontworpen om deze variaties uit te bannen.

Middengolf infraroodverwarmer voor wafer

Thu, 18 Jun 2026 04:08:13 +0800

Op de lithografieafdeling is het proces van het verhitten van de fotoresist geen simpel warmterechtstreekproces. Het zorgt er namelijk voor dat het solventprofiel wordt vastgelegd, dat de vorm van de CD wordt bepaald en dat de ruwheid van de randen van de CD wordt bepaald – dit blijft dan behouden voor de rest van de dag. Als de temperatuur op de heetplaat met ±2°C schiet, wordt het bereik van de gewenste temperatuur drastisch kleiner. Hierdoor stapelen zich afwijkingen op. We hebben een middengolf-infraroodverwarmer ontworpen om deze variabiliteit te verminderen.

Veiligheidsafstand voor waferverwarming

Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800

Op de productievloer is de afstand tussen de wafer en de heater geen bijzaak—het is een procesparameter die u niet kunt negeren. Laat die afstand afwijken, en de thermische uniformiteit valt uiteen. Soft bake- en hard bake-profielen lopen scheef. CD-controle verslapt. Herbewerkingen nemen toe.

Wat technisch gezien daadwerkelijk relevant is

We stellen een herhaalbare veiligheidsafstand in die de thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C borgt. Het systeem maakt gebruik van kortgolvige infrarood-elementen voor een snelle, stabiele respons, en de geometrie van de hot zone is ontworpen om deeltjesgeneratie op nul te houden, zelfs in Class 1–100 cleanrooms. De temperatuurherhaalbaarheid blijft behouden over batches, ploegendiensten en apparatuur, waardoor het thermische budget binnen de toleranties van de lithografiestapel blijft.