Halogeenlamp voor RTP systeem

Mon, 22 Jun 2026 23:30:23 +0800

Op de productieafdeling zijn thermische schommelingen geen theoretisch fenomeen – ze komen tot uiting in schommelingen in de dikte van de lijnen en in problemen met de kwaliteit van het product. Bij RTP is de lamp degene die je daadwerkelijk bedient. Als het temperatuurprofiel afwijkt, wordt het profiel van de fotoresist verstoord. Hierdoor wordt er zinloos energie verspild.

Wat technisch gezien belangrijk is We kiezen voor halogeenlampen met kortegolflengte-infrarood licht, zodat het silicium de warmte direct en snel kan opnemen. Dit zorgt voor een snelheid van subseconden, zonder dat er sprake is van overschrijdingen. Over de hele actieve zone blijft de temperatuur binnen ±0,1°C – dit soort controle zorgt ervoor dat de kwaliteit van het product constant blijft. De kwartsomhulling en de geometrie van de gloeidraad zijn zo ontworpen dat de uitgangssnelheid gedurende meer dan 5.000 uur stabiel blijft, met een fluctuatie van minder dan 5%. De uitgangssnelheid moet worden aangepast aan de thermische massa van het proces: snel wanneer er sprake is van snelle verhitting, en gecontroleerd wanneer er sprake is van langzame verhitting.

RTP on Pro Quartz Infrared Heating

Halogeenlamp voor RTP systeem