http://quartz-ir-heat-pro.com/nl/tags/precisie/ Recent content in Precisie on Pro Quartz Infrared Heating Hugo nl Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/nl/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/nl/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Precisie IR sensor voor wafer"></p> <p>Op de lijn raakt de wafer het bake station met een uiterst beperkte thermische budget. Soft bake bepaalt het profiel van de photoresist. Hard bake verankert de patroongetrouwheid. Een afwijking van enkele tienden van een graad, een hotspot die je niet ziet, en je CDs beginnen te verschuiven. Pellicle spanning verandert. Defecten glippen langs de inspectie. De volgende ochtend wijst de yield review direct naar temperatuurongelijkheid.</p> <p>We hebben een precisie IR-sensor ontwikkeld voor de wafer om die kettingreactie bij de bron te stoppen. Hij meet de waferoppervlaktetemperatuur direct, in situ, met de resolutie en reproduceerbaarheid die lithografie bake stappen vereisen. Geen giswerk aan de kamerwanden. Geen extrapoleren van thermokoppels die de heater zien, niet de resist. Alleen een zuiver, stabiel signaal waarop je kunt vertrouwen, cyclus na cyclus.</p>