Maximalisering van de overdracht van stralingsenergie bij het verwerken van siliconenplaten met goudcoateerde IR reflectoren
Stop met het verspillen van warmte: waarom gecoate reflectoren belangrijk zijn Laten we eerlijk zijn: energieverspilling bij het verwerken van wafers...
Precisie IR sensor voor wafer
Op de lijn raakt de wafer het bake station met een uiterst beperkte thermische budget. Soft bake bepaalt het profiel van de photoresist. Hard bake...