IR on Pro Quartz Infrared Heating

Keramische eindkap voor IR emitter

Wed, 22 Jul 2026 04:22:22 +0800

Waarom uw IR-emitters betere eindkapjes nodig hebben
Als u ooit in een halfgeleiderfabriek hebt gewerkt, weet u dat precisewarming cruciaal is voor het goed functioneren van de apparatuur. We zijn allemaal afhankelijk van IR-emitters om de temperatuur van de wafers op peil te houden. Er is echter één groot probleem: de plek waar het verwarmingselement in contact komt met de elektrische leidingen. Hier gebeurt het vaak dat het systeem faalt.

Daarom maken we gebruik van keramische eindkapjes. Denk erbij aan een soort thermisch schild. Ze houden niet alleen alles op zijn plek, maar voorkomen ook dat de hitte terugloopt naar de elektrische leidingen en zo schade veroorzaakt.

Aluminiumreflector voor IR lamp

Sun, 12 Jul 2026 09:31:48 +0800

Hoe je stofvorming kunt voorkomen: hoe je een IR-verwarmer kunt gebruiken in een klasse-100-ruimte
Als je ooit hebt geprobeerd om een standaard IR-verwarmer te gebruiken in een klasse-100-ruimte, weet je wat voor nachtmerrie dat is. Zodra je de verwarmer aanzet, kunnen je wafer of lenzen beschadigd raken. Waarom? Omdat de meeste verwarmers in feite ‘fabrieken’ van deeltjes zijn. Ze scheuren uit elkaar en ze释放en gassen die absoluut niet in de buurt van je producten mogen komen.

Precisie IR sensor voor wafer

Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800

Op de lijn raakt de wafer het bake station met een uiterst beperkte thermische budget. Soft bake bepaalt het profiel van de photoresist. Hard bake verankert de patroongetrouwheid. Een afwijking van enkele tienden van een graad, een hotspot die je niet ziet, en je CDs beginnen te verschuiven. Pellicle spanning verandert. Defecten glippen langs de inspectie. De volgende ochtend wijst de yield review direct naar temperatuurongelijkheid.

We hebben een precisie IR-sensor ontwikkeld voor de wafer om die kettingreactie bij de bron te stoppen. Hij meet de waferoppervlaktetemperatuur direct, in situ, met de resolutie en reproduceerbaarheid die lithografie bake stappen vereisen. Geen giswerk aan de kamerwanden. Geen extrapoleren van thermokoppels die de heater zien, niet de resist. Alleen een zuiver, stabiel signaal waarop je kunt vertrouwen, cyclus na cyclus.