Middengolf infraroodverwarmer voor wafer

Thu, 18 Jun 2026 04:08:13 +0800

Op de lithografieafdeling is het proces van het verhitten van de fotoresist geen simpel warmterechtstreekproces. Het zorgt er namelijk voor dat het solventprofiel wordt vastgelegd, dat de vorm van de CD wordt bepaald en dat de ruwheid van de randen van de CD wordt bepaald – dit blijft dan behouden voor de rest van de dag. Als de temperatuur op de heetplaat met ±2°C schiet, wordt het bereik van de gewenste temperatuur drastisch kleiner. Hierdoor stapelen zich afwijkingen op. We hebben een middengolf-infraroodverwarmer ontworpen om deze variabiliteit te verminderen.

Golf on Pro Quartz Infrared Heating

Middengolf infraroodverwarmer voor wafer