Keramische lamphouder voor fab heater

Sun, 07 Jun 2026 03:41:34 +0800

Op de productievloer weet u hoe snel dingen kunnen misgaan. Een afwijking van 0,5°C tijdens de soft bake van photoresist is al genoeg om linewidths te veranderen. Een instabiele drooghelling? Dat is een directe uitnodiging voor micro-bridging. Thermische reproduceerbaarheid is geen “nice to have.” Het is het proces.

We hebben onze keramische lampengoten voor fab heaters ontwikkeld om infraroodverwarming precies daar te fixeren waar het telt: wafer droging, photoresist pre-bake en hard-bake uitharding.

Wat technisch van belang is
Het keramische lichaam blijft bestand tegen hoge temperaturen en houdt de uitgassing laag, waardoor het aantal deeltjes stabiel blijft in Class 1–100 cleanrooms. In combinatie met kortgolvige infrarood-emitters leidt dit tot snelle, directe koppeling met photoresist en substraat. Dit vertaalt zich in responstijden van minder dan een seconde en strakkere controle van het thermisch budget.
Rekening houdend met een uniformiteit van ±0,1°C over het wafervlak, en reproduceerbaarheid die binnen de procespecificatie blijft, shift na shift. De houderinterface is ontworpen rondom standaard halogeen/IR lampvoetafmetingen, met solide aansluitingen en EMI-bewuste bedrading, zodat de stabiliteit van de controller niet wordt aangetast.

Bezitter on Pro Quartz Infrared Heating

Keramische lamphouder voor fab heater