Op de lithografieafdeling is het proces van het verhitten van de fotoresist geen simpel warmterechtstreekproces. Het zorgt er namelijk voor dat het...

Op de productievloer weet u hoe snel dingen kunnen misgaan. Een afwijking van 0,5°C tijdens de soft bake van photoresist is al genoeg om linewidths...

Op de productievloer is de afstand tussen de wafer en de heater geen bijzaak—het is een procesparameter die u niet kunt negeren. Laat die afstand...

Op de productievloer noem je een gemiste bake-window of een afwijking in droogtijd geen administratief probleem. Je noemt het afval. De soft bake- en...

Op de productievloer zijn soft bake en hard bake niet zomaar “warmtestappen.” Het is een koorddansact. Een afwijking van 2°C zorgt ervoor dat je...

Op de lijn raakt de wafer het bake station met een uiterst beperkte thermische budget. Soft bake bepaalt het profiel van de photoresist. Hard bake...