Lampu inframerah untuk proses annealing pada bahan semikonduktor

Wed, 24 Jun 2026 03:56:11 +0800

Di bilik pengeluaran, sistem penjadualan tidak akan berhenti beroperasi walaupun ada lampu yang rosak. Proses pemanasan seperti “soft bake”, “hard bake”, dan “post-exposure bake” dilakukan dalam lingkungan suhu yang tetap. Jika sumber haba gagal berfungsi, keseluruhan proses pengeluaran akan terjejas: profil fotorezist akan berubah, dimensi kritikal komponen juga akan berubah, dan akhirnya produk tersebut akan menjadi bahan buangan.

Apa yang penting dari segi teknikal
Lampu inframerah yang digunakan untuk proses pemanasan ini dibina dengan menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang terletak di dalam selubung kuarsa. Pilihan ini sesuai apabila diperlukan respons yang cepat serta hasil spektrum yang stabil, dari satu kitaran ke kitaran yang lain. Matlamatnya adalah untuk mencapai keseragaman suhu pada tahap ±0.1°C pada peringkat wafer. Ini dicapai melalui penggunaan lampu yang telah dikalibrasi dengan betul, serta sistem kawalan suhu yang memastikan suhu tetap stabil tanpa berlaku penyimpangan.

Pemanasan Semula on Pro Quartz Infrared Heating

Lampu inframerah untuk proses annealing pada bahan semikonduktor