Pemasa untuk ketuhar pengering wafer

Wed, 03 Jun 2026 12:14:39 +0800

On the fab floor, anda tidak boleh menganggap tingkap pembakaran yang terlepas atau pergeseran masa pengeringan sebagai isu dokumentasi. Anda anggap ia sebagai bahan terbuang. Masa photoresist soft bake dan hard bake menetapkan kawalan CD dan lekatan tepat dari awal. Dalam pembungkusan, kelembapan sisa akan kelihatan kemudian sebagai delaminasi selepas proses mold dan reflow. Pemasa oven tidak boleh hanya sebagai jam randik. Ia perlu menjadi penentu dalam proses. Apa yang penting, dari segi teknikal Pemasa untuk oven pengering wafer ini memberikan masa yang boleh diulang dengan ketepatan setpoint ±0.1% merentasi kitaran bake dan kering, dan ia mengekalkan masa walaupun berlaku gangguan kuasa dengan memori bukan mudah luput. Ia berintegrasi dengan PLC oven melalui sentuhan kering dan input 4-20 mA, serta merekodkan masa, suhu, dan amaran ke MES untuk kebolehjejak tepat. Paparan boleh dibaca dengan jelas dari seberang kawasan kilang, walaupun dalam pencahayaan rendah. Antara muka dikekalkan mudah atas sebab tertentu: mengurangkan varians operator. Disiplin bajet terma muncul dalam kerja. Masa yang konsisten mengekalkan profil photoresist stabil dan mengelakkan terlebih kering, yang boleh mengeras sisa dan meningkatkan jumlah zarah. Mengapa ia tahan dalam amalan Dalam bilik bersih Kelas 1–100, pemasa mengekalkan disiplin kitaran oven tanpa menambah kerumitan. Pemprosesan photoresist menjadi boleh diulang: tingkap soft bake dan hard bake kekal dalam spesifikasi, dan anda melihat peningkatan overlay dan keseragaman CD. Laluan pembungkusan mengurangkan kadar penolakan berkaitan dengan kekosongan akibat kelembapan kerana masa pengeringan dipatuhi setiap syif. Penggunaan tenaga juga menurun, kerana pemasa menyokong profil rendaman berperingkat yang mengelakkan tempoh suhu tinggi yang tidak perlu. Hasilnya adalah kurang pengecualian, had kawalan lebih ketat, dan downtime tidak dirancang yang berkurangan. Apa yang anda perlu tahu terlebih dahulu Pemasangan semula mudah untuk kebanyakan oven, tetapi sahkan jenis sensor sedia ada, penarafan sentuhan, dan laluan komunikasi sebelum pemasangan. Pemasa berfungsi dengan seni bina kuasa oven standard, tetapi ia tidak akan membaiki pemanas lemah atau aliran udara yang kurang baik — prestasi masih bergantung pada keseragaman terma oven itu sendiri. Jalankan komisioning ringkas untuk memadankan setpoint pemasa dengan ukuran tahap wafer dalam proses sebenar anda.

Ketuhar on Pro Quartz Infrared Heating

Pemasa untuk ketuhar pengering wafer