http://quartz-ir-heat-pro.com/ms/tags/ketepatan/ Recent content in Ketepatan on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ms Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ms/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Mon, 01 Jun 2026 13:05:08 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ms/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Sensor IR ketepatan untuk wafer"></p> <p>Di dalam barisan, wafer menghentam stesen pembakaran dengan bajet terma yang sangat tipis. Soft bake menetapkan profil photoresist. Hard bake mengunci ketepatan corak. Beberapa persepuluh darjah pergeseran, satu titik panas yang tidak kelihatan, dan CD anda mula melarikan diri. Tekanan pellicle berubah. Cacat terlepas pemeriksaan. Kemudian pagi berikutnya, ulasan hasil terus menunjuk kepada ketidaksamaan suhu.</p> <p>Kami membina sensor IR tepat untuk wafer bagi memutuskan rantaian tindak balas itu dari punca. Ia membaca suhu permukaan wafer secara langsung, in situ, dengan resolusi dan kebolehulangan yang diperlukan oleh langkah pembakaran litografi. Tiada tekaan dari dinding ruang pembakaran. Tiada ekstrapolasi dari termokopel yang melihat pemanas, bukan resist. Hanya isyarat bersih dan stabil yang boleh anda harapkan dari satu kitaran ke kitaran berikutnya.</p>