http://quartz-ir-heat-pro.com/ms/tags/keselamatan/ Recent content in Keselamatan on Pro Quartz Infrared Heating Hugo ms Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ms/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sat, 06 Jun 2026 03:50:27 +0800 http://quartz-ir-heat-pro.com/ms/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://quartz-ir-heat-pro.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Jarak keselamatan untuk pemanasan wafer"></p> <h1 id="di-lantai-fabrik-jurang-antara-wafer-dan-pemanas-bukanlah-nota-kakiia-adalah-parameter-proses-yang-tidak-boleh-diabaikan-biarkan-jarak-itu-mengalir-dan-keseragaman-termal-akan-runtuh-profil-soft-bake-dan-hard-bake-terganggu-kawalan-cd-terjejas-kerja-semula-meningkat">Di lantai fabrik, jurang antara wafer dan pemanas bukanlah nota kaki—ia adalah parameter proses yang tidak boleh diabaikan. Biarkan jarak itu mengalir, dan keseragaman termal akan runtuh. Profil soft bake dan hard bake terganggu. Kawalan CD terjejas. Kerja semula meningkat.</h1> <h2 id="apa-yang-sebenarnya-penting-secara-teknikal">Apa yang sebenarnya penting, secara teknikal</h2> <p>Kami menetapkan jarak keselamatan yang boleh diulang yang mengunci keseragaman termal peringkat wafer pada ±0.1°C. Sistem ini bergantung pada elemen <a href="https://o-yate.net">inframerah</a> gelombang pendek untuk respons yang cepat dan stabil, dan geometri zon panas dibina untuk mengekalkan penghasilan partikel pada sifar, walaupun di bilik bersih Kelas 1–100. Kebolehulangan suhu kekal merentasi lot, syif, dan peralatan, jadi bajet termal berada dalam toleransi tumpukan litografi.</p>